1) non-flatness measurement
不平度检测
1.
A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer chuck in step-and-scan projection lithographic tool is presented.
提出一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术。
2) parallelism detection
平行度检测
1.
Effect of penta prism error on parallelism detection;
用ZEMAX模拟五棱镜误差对平行度检测的影响
3) roughness measurement
平整度检测
1.
Videogrammetry in highway roughness measurement;
一种路面平整度检测的摄像测量方法
5) measurement of planeness
不平度测量
6) TDT
传递不平衡检测
1.
IBD、TDT and PTDT based on linkage disequilibrium are introduced,comparing and viewing these(methods).
本文主要介绍了基于连锁不平衡原理同源相同检测、传递不平衡检测和系谱传递不平衡检验等方法,并对这些方法进行了对比和展望。
补充资料：不平度
不平度
waviness
buPingdu不平度(waviness)扁平轧件(如板带材)波浪形弯曲的波浪高度与长度之比，旧称波浪度。宽板材的波浪(见板形缺陷)有时出现在宽度中央、有时出现在两侧边、有时出现在一侧边，分别叫中浪、双边浪、单边浪;还有时出现在板宽的1/4处，叫1/4浪。板带越薄、越宽和材料强度越高，波浪越严重。有的产品标准规定，冷札钢板和钢带的不平度按表面质量、宽度和厚度划分档次。强度级别高的钢板不平度的上限允许略有增加。热轧钢板和钢带的不平度按厚度分档，强度级别高的钢板及调质钢板，不平度值允许略有增加。 造成不平度的原因是:压下蚤过小，辊型凸度过大或轧辊热膨胀，易产生中间浪，压下量过大，轧辊弯曲，辊型凸度过小，轧辊过冷或轧辊磨损易出现边浪，轧件两侧压下不相等或两侧冷却不均，则出现一侧浪。另外板面润滑不均，轧制时张力过小，轧件也会出现浪形。防止和消除波浪的方法是采用板形控制、弯辍技术、移辐技术、分段冷却，通过平整机平整，辐式矫直或张力矫直等。 (崔峰)
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条