1) mirror
方镜
1.
A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer stage mirrors in a step-and scan lithographic tool is presented.
提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。
2) cubic prism
立方镜
1.
Calibration of mapping camera and cubic prism coordinate system;
测绘相机坐标系与立方镜转换矩阵的标定
2.
In response to the method of calibrating mapping camera and cubic prism coordinate system,the transformation matrix for coordinate system was established.
针对测绘相机坐标系与其立方镜之间关系的标定方法,建立了两坐标系间的转换矩阵,分析了在测量中引起的误差源,并基于建立的数学模型,利用蒙特卡罗法对这些误差进行了精度分析。
3) square mirror-image number
平方镜反数
补充资料：方镜
【诗文】：
背如刀截机头锦，面似升量涧底泉。
铜雀台南秋日后，照来照去已三年。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷574-34
背如刀截机头锦，面似升量涧底泉。
铜雀台南秋日后，照来照去已三年。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷574-34
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