1) measure and control technique and instrument
检测技术及仪器
3) detecting technology and apparatus
检测技术与仪器
4) measurement technology and instrumentation
测试计量技术及仪器
5) Deleting and detecting methods
脱毒及检测技术
补充资料：仪器可检测下限
分子式：
CAS号：
性质：可给出信噪比至少为3dB的仪器响应的物质最低浓度。半导体工业的发展对高纯气体，电子特种气体的纯度要求愈来愈高，对气体中的杂质检测限要求达到10-9～10-12数量级。目前供此目的用的最好仪器是大气压离子质谱。HD-2P报警仪对乙硼烷、砷烷、磷烷和二氯二氢硅的可检测下限分别为2×10-9，2×10-9，3×10-9和8×10-9。
CAS号：
性质：可给出信噪比至少为3dB的仪器响应的物质最低浓度。半导体工业的发展对高纯气体，电子特种气体的纯度要求愈来愈高，对气体中的杂质检测限要求达到10-9～10-12数量级。目前供此目的用的最好仪器是大气压离子质谱。HD-2P报警仪对乙硼烷、砷烷、磷烷和二氯二氢硅的可检测下限分别为2×10-9，2×10-9，3×10-9和8×10-9。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条