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1)  Focus technology of moving focal plane
移动焦平面调焦技术
2)  Micro displacement automatic focusing
微位移自动调焦
3)  focusing and leveling
调焦调平
1.
The Test Bench for Wafer Focusing and Leveling Sensor;
硅片调焦调平测量系统测试平台
2.
Image quality is the key performance of the optical lithography tool and it relies on the performance of wafer focusing and leveling measurement system.
成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础。
4)  focal plane shift
焦面位移
5)  coking technique
炼焦技术
1.
The paper points out how to grasp the distillation of tamping coking technique from theoretical side and practical side, and introduces the influence of tamping and coking on coking process and coke quality.
指出如何从理论和实践方面掌握捣固炼焦技术的精髓,分别介绍影响煤料的捣性因素,及捣固炼焦对结焦过程和焦炭质量的影响。
6)  zooming technology
变焦技术
补充资料:红外焦平面器件


红外焦平面器件
infrared focal plane device

hongwai liaoPingmian qilian红外焦平面器件(infrared foeal planedevice)在红外光学系统的焦平面上,用红外阵列器件对景物的红外图像进行光电转换,并用与其集成的信号处理器进行信号处理的器件。具有信号的多路传输、延时积分、存储、显示、背景消除、自动增益控制等功能。利用大规模红外焦平面器件,制成在焦平面上直接成像的红外凝视系统,不需要光机扫描部件,可提高红外系统的可靠性,并能缩小体积、减轻重量。 红外焦平面器件需在大面积单晶薄膜上制造红外探测器阵列,并使它兼有图像信号存f诸与转移功能,以获得高的转移效率、注人效率、灵敏度和大的动态范围。这科,器件的制造技术要求高、难度大,涉及表面、介面、杂质物理等许多复杂的理论问题以及大规模高密度集成与互连等工艺问题。红外焦平面器件的发展方向是:提高阵列密度及通用性,扩充信号处理功能,将部分图像处理功能集成于焦平面上。随着红外焦平面集成度的提高和性能的改进,将提高红外系统的分辨率和作用距离,因而红外焦平面器件将在红外侦察、跟踪、制导、预警等成像系统中,得到广泛的应用。 (郑康立)
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参考词条