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1)  gray tone mask
灰色调掩膜
2)  halftone mask
半色调掩膜
1.
Diffraction and interference phenomenon in the halftone mask fine pattern forming process was analyzed.
针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。
3)  real-time grey-tone mask
实时灰阶掩膜
4)  tone [英][təʊn]  [美][ton]
色调,灰调
5)  grey film
灰色膜
6)  color dividing mask
彩色分离掩膜
补充资料:掩模版保护膜
分子式:
CAS号:

性质:一种很薄的光学透明膜,一般由硝化纤维组成。将该透明膜黏附在框架上,由框架来支承,并黏附在光掩模版(或光掩模中间板)上。它的目的是密封,防止沾污物,减少由曝光系统图像平面中的污染而引起的光刻缺陷。

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