1) lateral etching
侧向腐蚀
1.
The InP/air-gap structure is fabricated by using lateral etching with different etchants.
研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性。
2) water side corrosion
水侧腐蚀
3) sidewall angle
侧壁腐蚀角
4) gas-side corrosion
烟气侧腐蚀
5) corrosion tendency
腐蚀倾向
6) etching orientation
腐蚀定向
补充资料：侧向思维
侧向思维
sideway thinking
侧向思维(sjdeway rhinking)利用“局外”信息的启示，从而发现问题的思维方法。英国医生德博诺把这种思维同人眼睛的侧视相类比，称为“侧向思维”。阿基米德解开“皇冠之谜”就是受洗澡时澡盆溢水的启示。坚定不移的研究目标、梦寐以求的悬念、苦思冥想的钻研精神等是侧向思维户生的条件。 淮们撰吴万直宙、
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参考词条