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1)  confocal probe
共焦测头
1.
Improved arithmetic of confocal probe based on time difference measurement;
基于时间差法的共焦测头算法改进
2)  confocal measurement
共焦测量
3)  confocal detection
共聚焦检测
4)  focusing sensor
聚焦式测头
1.
Evaluation of step height standard with high accuracy is realized using a nano-measuring machine(NMM)integrated with a focusing sensor.
利用集成聚焦式测头的纳米测量机实现了高精度的台阶高度标准评价,该系统的测量范围可以达到25mm×25mm×5mm。
5)  parallel confocal micro-measurement
并行共焦测量
6)  confocal micro-measurement
共焦显微测量
补充资料:后焦头

后焦头

back focus

自镜头后端表面至结象焦点止的距离。即后焦距。对单镜头反光相机用的广角镜头,特地将后焦距离搞得长些,为的是不使其不碰触反光镜,称此为反远距镜头。

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参考词条