1) DMD
数字微反射镜
1.
The input micro-patterns in the digital micro-mirror device(DMD)are imaged on the photoresist plate using reduction interferential optical devices in the laser direct writing system.
通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3。
2.
A method of fabricating light guided plates (LGP) is presented, based on DMD micro-lithography and micro-imprint technique.
第四部分提出了一种采用数字微反射镜(DMD)作为输入的并行光刻系统制作导光板的方法。
2) digital micromirror device (DMD)
数字微反射镜(DMD)
3) DMD
数字微反射镜器件
1.
The experiment system of opt-electronic reconstruction of digital Hologram is set up,using the portrait which record by optics method,and the image of opt-electronic reconstruction of digital hologram can be gained by DMD-SLM.
建立了数字全息光电再现实验系统,用数字微反射镜器件(Digital Micro-mirror Device,DMD)的空间光调制器(Spatial Light Modulator,SLM)对光学记录的头像数字全息图进行了光电再现,并给出了实验结果。
4) DMD(digital micro device)
散字微反射镜
5) micromirror
微反射镜
1.
Experimental study on characteristics of bulk micromachined micromirror;
基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验
2.
This paper investigates a bright nickel plating technique for the fabrication of micromirror.
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺。
3.
The etched(110) planes become smooth and reaction residues on the micromirrors can be removed in this mixture.
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。
6) micro-mirror
微反射镜
1.
Technical study of micro-mirror based on PZT films in adaptive optics;
微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究
2.
Machining and functional testing of adaptive micro-mirror array;
自适应微反射镜阵列制作与性能测试
3.
A novel adjustable focal-length optical adaptive micro-mirror based on bi-mental effect is presented.
以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺的研究,获得硅铝双金属可调焦微反射镜4×4阵列,单元尺寸3 mm×3 mm,单晶硅基底厚60μm,硅表面溅射的铝膜厚150 nm。
补充资料：光学反射镜镜坯材料
光学反射镜镜坯材料
mirror blank materials for optical reflection
光学反射镜镜坯材料mirror blank materiazsfor optieal refleetion通过光在材料表面的反射达到成象或传输能量的反射镜镜坯材料。用于地基或空间天文望远镜、高能激光束的传输等。 与折射望远镜比较，反射式望远镜具有全消色差、波段范围广、镜面材料易制造等优点。直到19世纪上半叶，反射式望远镜镜面材料都使用铜合金。铜的刚度不足，加工困难，镜面反射率不高。19世纪中叶开始出现在反射面上镀银的玻璃镜面。光学玻璃的熔炼和精密退火技术为制造大尺寸反射镜镜坯提供了条件。20世纪50年代发展了熔石英和低膨胀熔石英玻璃。60年代又出现了超低膨胀微晶玻璃。由于这种玻璃具有接近零的膨胀系数和高弹性模量，又可制造大尺寸毛坯，故成为望远镜镜坯的主要材料，并制造出大量2一4m级的反射镜镜坯。 种类常用光学反射镜镜坯材料有以下6种。 ①被:具有高的比刚度，利于减轻自重;具有较好的热稳定性、耐辐射稳定性和高硬度。被的热导率较大，尤其在250K以下，热稳定性远优于低膨胀熔石英和微晶玻璃。被反射镜制造工艺复杂，各向异性和相变引起的时效影响其尺寸稳定性，原料价格贵，粉末状被有毒，因而限制了它的使用。 ②铝:具有高的热导率，热稳定性优于熔石英，原料成本低，制造工艺简单，用于早期反射望远镜的制造。因其比刚度低，一般较少使用。 ③低膨胀玻璃:热膨胀系数接近于零。主要是低膨胀熔石英玻璃。用作地基或空间天文望远镜或反射镜镜坯〔见低膨胀镜坯玻璃)。 ④微晶玻璃:用作反射镜镜坯的微晶玻璃，是锉铝硅系统玻璃通过晶化处理而得到的。这种玻璃具有接近零的膨胀系数，比刚度和热稳定性与低膨胀熔石英相似，制造方便，成本较低，可进行高精度抛光。缺点是热循环后的尺寸变化和辐射稳定性较差(见微晶玻璃镜坯材料)。 ⑤碳化硅增强铝:碳化硅增强的铝基复合材料。碳化硅的引入可增加基体的比刚度，降低膨胀系数，提高热稳定性。改变碳化硅含量可调整材料性能，以满足与金属部件的匹配，通过热压可制得形状复杂、尺寸与成品相近的镜坯。 ⑥单晶硅:比刚度高于熔石英和低膨胀熔石英，热稳定性优于被，热导率与金属相似。冷却的硅反射镜适用于高辐射照度的反射镜。已制成口径0 .sm、将用作强激光反射镜的单晶硅镜坯。 特性光学反射镜镜坯材料的特性主要表现为以下几方面。①热稳定性:稳态和非稳态温度变化时镜面的热变形取决于膨胀系数a、热导率k和导温系数D。D~k/pc，式中p为密度，c为比热容。具有小的a/k和a/D的材料，热稳定性较好。②自重下的变形:取决于p(1一。
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参考词条