1) proximity effect correction
邻近效应校正
1.
So the proximity effect correction can be realized rapidly and accurately in the horizontal direction.
针对三维曝光图形的结构特点,结合重复增量扫描方式,分别从水平和深度两个方向进行邻近效应校正。
2.
The internal proximity effect correction in the electron beam lithography based on the variation of the pattern shape was studied.
研究了基于图形几何尺寸修正的电子束光刻的内部邻近效应校正技术,利用累积分布函数预先进行内部最大矩形和顶点矩形的快速计算,并把它们存储在矩阵中。
2) OPC
光学邻近效应校正
1.
Summarizing advances in light source,optics,illumination technology,mask design,Optical Proximity Correction(OPC)and stage during photolithography pushing forward to nano-fabrication,and describing photolithography advantages in mass production applications,introducing requirements for Next Generation Lithography(NGL),to predict prospects of photolithography.
概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以及光学光刻技术在大批量生产应用中的优势,并介绍了国外开发极紫外光刻技术的技术指标,预测了光学光刻技术的前景。
2.
It is an effective method to use coding gray tone mask for OPC in submicron photolithography.
利用灰阶编码掩模实现光学邻近效应精细校正是改善光刻图形质量的有效方法 ,设计并利用电子束直写系统加工了用于实现邻近效应校正的灰阶编码掩模 ,首次在投影光刻系统上用这一方法实现了光学邻近效应校正 ,获得了满意的实验结果 ,在可加工 0 7微米的I线曝光装置上获得了经邻近效应校正的 0 5微米光刻线条。
3) electron beam Proximity correction
电子束邻近效应校正
4) proximity effect
邻近效应
1.
The proximity effect of synmmetrical cable employing copper clad steel as conductor;
采用铜包钢复合线的对称电缆邻近效应
2.
Simulation of the proximity effect of electron beam lithography;
电子束光刻的邻近效应及其模拟
3.
Methods of proximity effect correction in electron beam lithography;
电子束光刻中邻近效应校正的几种方法
5) adjacency effect
邻近效应
1.
Analysis of the adjacency effect in satellite remote sensing by using backward Monte Carlo method;
用逆向蒙特卡罗法分析卫星遥感中的邻近效应
2.
So,adjacency effects generated by neighbor pixels need to be properly considered.
通常情况下,中红外波段大气多次散射作用可以忽略,但在高分辨率中红外遥感成像中却需对由多次散射产生的邻近效应加以适当考虑。
3.
Supported by NSFC,we have carried out the research on adjacency effect since 2004 and conducted 2 satellite and 1 aerial synchronous experiments.
2004年和2005年开展了遥感邻近效应的理论研究,2次卫星、1次航空遥感同步试验测量和测量数据分析,在获取了邻近参数的基础上实现了对图像的邻近效应校正。
6) neighbor negative influence
邻近负效应
补充资料：邻近效应（proximityeffects）
邻近效应（proximityeffects）
将正常金属（N）蒸镀到超导样品（S）上，由于库珀电子对为相干长度ξ范围，在S表面的电子对渗透到N中厚度为N中相干长度ξN范围，使该范围也呈现超导电性，称邻近效应。此效应影响界面附近的能隙和临界温度均有所下降。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条