1) conversion efficiencies
淀积技术
1.
The sfate of the art CdTe solar cells have conversion efficiencies near 16%.
符合器件要求的CdS薄膜有多种淀积技术,而从水溶液中生成的方法是最经济的。
2) vacuum deposition technique
真空淀积技术
3) vapor phase deposition technique
气相淀积技术
4) physical jet deposition technique
物理喷束淀积技术
5) plasma deposition technology
等离子体淀积技术
6) Technology of anti-sediment
防沉淀技术
补充资料:化学气相淀积(chemicalvapourdeposition(CVD))
化学气相淀积(chemicalvapourdeposition(CVD))
化学气相淀积是一种气体反应过程。在这个过程中,由某些选定气体的热诱导分解在衬底上形成某种介质层。在硅平面器件及集成电路中最常用的是淀积SiO2,Si3N4和多晶硅。化学气相淀积也广泛用于半导体单晶薄膜的外延生长,特别是多层膜的外延生长。在光电子器件和微波器件的制作中尤其常用。CVD方法视工作时反应室中气体压强不同分为常压、低压和超低压CVD。根据化学反应能量提供方式不同可分为热分解、光加热、射频加热、热丝、光、等离子体增强和微波等离子体增强CVD。按反应气源不同又分为卤化物、氢化物和金属有机化合物CVD(MOCVD)。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条