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1)  Multilayer reflectometers
多层膜反射率计
2)  multilayer mirror
多层膜反射镜
1.
The reflectivity measurement of a soft X ray multilayer mirror is carried out successfully by splitting the spectrum from a flat field grating spectrometer into two parts.
采用在平焦场光栅谱仪后面分段记录光谱的办法成功地实现了软X光多层膜反射镜反射率的测量,实验观察了反射镜反射特性随入射角变化情况,同时对实验测量误差进行了分
2.
43 nm lines of a standard He hollow cathode source and the reflectivity peak of a calibrated Mo/Si multilayer mirror with central wavelength of 13.
90 nm的Mo/Si多层膜反射镜的反射率峰值位置,对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标,将所定的标准点在单色仪的运动轨迹上做了相应的标识,并用Origin软件进行处理,利用一元二次方程得出拟合曲线。
3)  antireflection multilayer
多层减反射薄膜
1.
A method to design antireflection multilayer using the theory of inhomogeneous coatings was presented.
利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法,从理论分析了宽角度情况下的偏振光产生透过率不同的原因,选取了MgF2、HfO2和TiO23种材料作为折射率材料,选取BK7作为基底材料,模拟设计了光谱区在400~700nm波段、入射角为0~70°的多层减反射薄膜,其P光和S光透过率达90%以上。
2.
A method of designing antireflection multilayer using the theory of inhomogeneous coatings was presented.
阐述了利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法 ,从理论上分析了在宽角度的情况下 ,偏振光产生透过率不同的原因 ,选取了Ta2 O5和SiO2 两种材料作为折射率材料 ,选取BK7作为基底材料模拟设计了光谱区在 6 0 0~ 70 0nm波段、入射角为 0°~ 80°之间的宽角度多层减反射薄膜 ,探索出了一条新型膜系设计的途径 ,其优化结果是较为理想的。
3.
Antireflection multilayer of1500~1600nm andincidence angle from 0Oto 80Ohave been designed using Ta2O5and SiO2 as materials of multilayer,using BK7 as material of substrate.
本文阐述了利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法,从理论上分析了在宽角度的情况下,偏振光产生透过率不同的原因,选取了Ta2O5和SiO2两种材料作为等效折射率材料,选取BK7作为基底材料模拟设计了光谱区在1500~1600nm波段、入射角为0度到80度之间的宽角度多层减反射薄膜,探索出了一条新型膜系设计的途径,其优化结果是较为理想的。
4)  anti-reflective multi-layer coatings
多层介质反射膜
5)  Multilayer Mirrors
多层膜反射镜
1.
C/Al Soft X-ray Multilayer Mirrors;
C/Al软X射线多层膜反射镜的制备与测量
2.
C/Si Multilayer Mirrors for 28.4nm and 30.4nm Wavelength;
78eV)波段的多层膜反射镜,并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的C/Si多层膜反射镜。
6)  MULTILAYER COATED REFLECTING MIRROR
多层膜反射分光
补充资料:率计
1.计算。
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参考词条