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1)  bi targets reactive sputtering
双靶反应溅射
2)  MF reactive dual magnetron sputtering
中频双靶反应磁控溅射
3)  dual-targets magnetron reactive sputtering
双靶磁控反应溅射
4)  double-target sputtering
双靶溅射
5)  dual targets sputtering
双靶共溅射
6)  Mid-frequency dual-magnetron reactive sputtering
中频孪生靶反应溅射
补充资料:三级反应溅射
分子式:
分子量:
CAS号:

性质:见阴极溅射。

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参考词条