1) phase-shifting interferometry
移相干涉技术
1.
Phase-shifting interferometry by wavelength tuning avoids the shortcomings of thehardware phase-shifting, this technology shifts the phase by tuning the output wav.
移相干涉技术中以推动压电陶瓷堆移相为代表的硬件移相技术应用最为广泛，但是对大口径光学系统进行测量时，利用压电陶瓷堆推动移相比较困难，并且非直线运动会引入较大测量误差。
2) interfere technique
相移干涉技术
3) phase-shifting interferometry
相移干涉术
1.
Phase-shifting interferometry and generalized digital phase-shifting interferometry;
相移干涉术及广义相移数字全息干涉术
2.
Optical experimental verification of two-step generalized phase-shifting interferometry
两步广义相移干涉术的光学实验验证
5) phase shifting interferometry
相移干涉术
1.
A vertical-shaft-type large field Mirau phase shifting interference microscope is developed based on phase shifting interferometry.
基于相移干涉术,研制了立式大视场Mirau相移显微干涉仪,它包括干涉成像和照明系统、竖直方向上的压电陶瓷传感器(PZT)微位移系统、被测面的两维扫描系统、图像采集和处理系统,是无限筒长显微镜结构和Mirau干涉结构的叠加。
6) Phase shifting interferometry (PSI)
移相干涉术
1.
Phase shifting interferometry (PSI) has been widely used and accepted as a fast and accurate non-contact metrology tool.
移相干涉术(PSI)作为快速、非接触的精密测量手段，已经广泛地应用于光学零件、光学系统、精密表面检测和其它一些与光程差参数相关的物理量的测量(如温度场、密度场等)。
补充资料：激光干涉测长技术
激光干涉测长技术
laser interferometric technique for length measurement
J心uang gonshe cechang Jishu激光干涉测长技术(】脱rinterferolnetrictech-nique for Icllgtll~ure~t)利用光波干涉原理进行长度计量的技术。这一技术大都是非接触测量，具有很高的侧量灵敏度和精度。光的波动特性，用光波干涉方法能最直观地显现，作为长度计量标准的激光波长，也只有用光波干涉方法才能传到实物标准上。20世纪印年代以来，随着激光的出现、隔展条件的改善和电子与计算机技术的成熟，干涉计量技术得到迅速发展。在干涉计量中，干涉仪以干涉条纹来反映被测件的信息。干涉仪将光分成两路或多路，干涉条纹是两路光光程差相同点连成的轨迹。若把被测件放人干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差将随着被测件的位置与形状而变，干涉条纹也随之变化，测量出干涉条纹的变化量，便可直接或间接获得被测信息。干涉仪应用十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化、振动等的测量。计量中常用的干涉仪有迈克耳孙干涉仪、菲索干涉仪、泰曼一格林干涉仪等。20世纪70年代以后，抗环境干扰的外差干涉仪(交流干涉仪，如双频激光干涉仪)，发展迅速。近年来，光纤干涉仪的出现使干涉仪结构更加简单、紧凑，性能也更加稳定。干涉计量技术的发展趋势是小型化、智能化和使用方便。(刘庆纲)
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条