1) micromechanical instruments
微机械仪表
2) Micromechanical Inertial Instruments
微机械惯性仪表
1.
Advance of Micromechanical Inertial Instruments Abroad;
国外微机械惯性仪表的进展
3) mechanical instrument
机械仪表
4) surface micromachining
表面微机械
1.
This paper focused on the design and fabrication of ECS with polysilicon surface micromachining technology.
该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构,在理论分析基础上,使用电容提取软件Fastcap和有限元分析软件Algor进行了电学模拟和材料力学模拟,并针对灵敏度进行了优化设计。
5) micro-machined gyroscope
微机械陀螺仪
1.
Many efforts will been spent in researching low cost, small size, and modest performance micro-machined gyroscopes.
微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低,可靠性高、可批量生产、便于与电子线路集成等优点,因此在军用和民用领域具有广阔的应用前景。
2.
Current analog signal detecting technology of the micro-machined gyroscope is discussed.
分析了几种微机械陀螺仪的模拟信号检测技术,指出了其中的不足。
6) micromachined gyroscope
微机械陀螺仪
1.
Fabrication of Z-axis micromachined gyroscope with DDSOG process;
采用DDSOG工艺加工Z轴微机械陀螺仪实验
2.
Owing to their advantages in miniaturization, cheapness, batch fabrication and high volume of civil and military applications, micromachined gyroscopes are of the most attractive MEMS devices.
微机械陀螺仪是微机电系统(MEMS)研究的重要内容。
补充资料:机械量测量仪表
测量尺寸、位移、力、重量、转矩、速度和振动等机械量的检测仪表。机械量测量仪表的检测原理有机械的、光学的、电气的多种,在生产过程中使用较多的是采用电测原理的仪表。这类仪表的特点是能够进行连续测量,信号处理比较简单,响应快,测量范围宽,对被测状态的影响小等。在机械量测量仪表中,传感器作为机电转换部件,其性能对仪表有很大影响。机械量测量仪表一般由传感器、测量电路、指示(或记录)器和辅助电源组成(见图)。
机械量测量仪表可按被测量进行分类,对被测量相同的机械量测量仪表,又可按测量原理分类,如位移测量仪表可分为电感式位移测量仪、电容式位移测量仪等(见表,表中"0"表示已获得应用)。通常,机械量测量仪表可分为位移测量仪表(见位移传感器)、转矩测量仪表(见转矩传感器)、转速测量仪表(见转速传感器)、厚度测量仪表(见厚度传感器)、力测量仪表和振动测量仪表。在生产过程中力测量仪表的测量方法有3种:①利用所测量的力与杠杆砝码直接平衡;②利用弹性变形,根据位移和变形判断所施加的力;③利用压磁、压电等物理效应。常用的测力传感器有压磁式(见压磁式传感器)、电阻应变式(见电阻应变式传感器)、振弦式(见振弦式传感器)、电容式(见电容式传感器)。振动测量仪表主要是对振动的位移、速度、加速度、频率、相位和频域中的频谱、功率谱等量进行测量。常用的振动测量方法有相对测振法和绝对测振法。相对测振法是将振动传感器置于被测振动物体之外的基准位置上,与被测振动物体直接接触或作非接触测量。绝对测振法采用弹簧和质量块系统的惯性式传感器,把它固定在被测振动物体上进行测量(见加速度计)。
机械量测量仪表的技术发展方向是扩展测量范围,提高测量精度,提高仪表可靠性和稳定性,实现非接触式连续测量和快速动态测量,采用新材料、新元件(如半导体敏感元件),利用集成电路技术发展检测转换一体化电路,提高测量灵敏度,缩小体积,提高可靠性。生产自动化的发展还提出对机械量进行自动测量和控制的要求。
参考书目
严钟豪、谭祖根主编:《非电测量技术》,机械工业出版社,北京,1983。
机械量测量仪表可按被测量进行分类,对被测量相同的机械量测量仪表,又可按测量原理分类,如位移测量仪表可分为电感式位移测量仪、电容式位移测量仪等(见表,表中"0"表示已获得应用)。通常,机械量测量仪表可分为位移测量仪表(见位移传感器)、转矩测量仪表(见转矩传感器)、转速测量仪表(见转速传感器)、厚度测量仪表(见厚度传感器)、力测量仪表和振动测量仪表。在生产过程中力测量仪表的测量方法有3种:①利用所测量的力与杠杆砝码直接平衡;②利用弹性变形,根据位移和变形判断所施加的力;③利用压磁、压电等物理效应。常用的测力传感器有压磁式(见压磁式传感器)、电阻应变式(见电阻应变式传感器)、振弦式(见振弦式传感器)、电容式(见电容式传感器)。振动测量仪表主要是对振动的位移、速度、加速度、频率、相位和频域中的频谱、功率谱等量进行测量。常用的振动测量方法有相对测振法和绝对测振法。相对测振法是将振动传感器置于被测振动物体之外的基准位置上,与被测振动物体直接接触或作非接触测量。绝对测振法采用弹簧和质量块系统的惯性式传感器,把它固定在被测振动物体上进行测量(见加速度计)。
机械量测量仪表的技术发展方向是扩展测量范围,提高测量精度,提高仪表可靠性和稳定性,实现非接触式连续测量和快速动态测量,采用新材料、新元件(如半导体敏感元件),利用集成电路技术发展检测转换一体化电路,提高测量灵敏度,缩小体积,提高可靠性。生产自动化的发展还提出对机械量进行自动测量和控制的要求。
参考书目
严钟豪、谭祖根主编:《非电测量技术》,机械工业出版社,北京,1983。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条