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1)  laser plasma source
软X射线投影光刻原理装置
2)  soft X ray projection lithography
软X射线投影光刻
3)  Soft X-ray projection lithography
软X-射线投影光刻
4)  soft X-ray lithography
软X射线光刻
1.
According to theoretical analysis,the PMMA compound X-ray lenses are designed and fabricated by soft X-ray lithography.
用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜。
5)  Soft X-ray interference lithography
软X射线干涉光刻
1.
4nm soft X-ray interference lithography has been accomplished.
4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版。
6)  X-ray spectrometer arrangement
X射线分光装置
补充资料：投影光刻
分子式：
CAS号：

性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。

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参考词条