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1)  Micro-displacement Driving
微位移驱动
2)  micro displacement actuator
微位移驱动器
1.
The paper analyses the present status of modeling and control studying for system with hysteresis nonlinearity in micro displacement actuator.
微位移驱动器的迟滞非线性系统建模和控制研究的现状分析,得知目前的迟滞非线性补偿控制主要是针对单环情况进行,而对多环迟滞补偿控制仍然很困难。
3)  micro-displacement actuator
微位移驱动器
1.
Research of micro-displacement actuator modeling and simulation technology;
微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究
2.
Aiming at the structure and communication demand of a micro-displacement actuator control system developed by author, the serial communication technology in this master-slave control system is studied , the hardware interface is designed and a communication program between PC and DSP is developed .
介绍TMS320F2812DSP异步串行通信模块(SCI)功能特征的基础上,针对自行开发的微位移驱动器控制系统结构和通信的要求,从事以PC微机为上位机、DSP为下位机的主从式控制系统串行通信技术的研究,探讨串行通信接口的硬件实现技术,开发相关的串行通讯软件,并通过具体通信实例进行了验证,表明所提出的方法简单有效,满足控制系统的要求。
3.
The piezoelectric micro-displacement actuator has been used in the precision orientation technology widely because of its outstanding advantage.
压电陶瓷微位移驱动器具有体积小,位移分辨率高,频响高,承载力大等特点,广泛应用于精密定位技术中。
4)  Micro-actuator
微量位移驱动器
1.
Design and Characteristics Analysis of Hydraulic Micro-actuator;
液压式微量位移驱动器的结构设计及特性分析
5)  microdisplacement actuator
微位移驱动器
6)  dual-stage drive micro-displacement system
双驱动微位移器
补充资料:超声波电机驱动的精密位移机构

为了解决上述问题,采用全新的驱动器——超声波电机来驱动位移机构。超声波电机原理和结构完全不同于传统电磁式电机,没有绕阻和磁场部件,不是通过电磁相互作用来传递能量,而是直接由压电陶瓷材料实现机电能量转换的新型电机,其结构简单,具有单位体积出力大、响应性能优良等特点。超声波电机位移机构主要由控制系统、超声波电机和附着有摩擦材料的精密滑台组成。控制系统是根据需求对超声波电机提供高频功率源。超声波电机是由压电驱动体和弹性振动体组成,是利用压电陶瓷的逆压电效应直接将电能转变成机械能,其工作频率一般在20 kHz以上。精密滑台根据实际需要可以是直线滑台或旋转台。直线位移机构是由超声波电机的压电振子在预压力作用下保持与工作台端面的摩擦片接触,借助摩擦力推动工作台运动。旋转位移机构是由超声波电机的压电振子在预压力作用下保持与旋转台的环形摩擦盘接触,借助摩擦力驱动圆工作台旋转运动。压电振子压着摩擦片给位移机构提供一个位置保持力矩。超声波电机驱动的位移机构可以达到很高的定位精度,直线型精度达到10纳米级,旋转型精度达到秒级。其行程在理论上是无限的,只与机械结构有关,可根据实际需要设计位移机构的行程。其灵敏度高,频率响应最低可达到20 kHz,即应答时间为50 µs,基本无迟滞现象,可以实时响应。


      超声波电机驱动的位移机构具有优异的低速平稳性,其速度的动态变化范围宽广,可实现10~250 mm/s;其结构简单,只有驱动部件和运动部件,没有复杂的传动系统;易与计算机接口,给该种位移机构配用合适的控制系统,可用于超精密加工误差的动、静态补偿,可作为超精密加工的微进给机构,还可用于低速大转矩非连续运动机械、机器人等。

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参考词条