1) Ion energy distribution
离子能量分布
1.
An ion energy auto analyzer was designed and implemented for the rapid measurement of plasma ion energy distribution.
利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为 12～ 4 2eV ,不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子 ,从而ECR等离子体技术适合于在半导体器件加工中应
2.
In this article, using the retarding grid energy analyzer, we have measured the ion energy distributions in a low temperature radio fruquency plasma under the condition of different magnetic mirror parameters.
结果表明 ,在放电管中心处离子能量分布 ,随磁镜场强度的增加而向低能方向偏移 ,但离子能量分布宽度却没有明显的变化 ;而随着磁镜比的增加离子能量分布却向高能方向偏移 ,并且离子能量分布宽度也将变宽 。
2) secondary ion energy distribution
二次离子能量分布
4) ion flux distribution
离子通量分布
5) ion content distribution concrefe
离子含量分布
6) energy distributions/microwave plasma sheath
能量分布/微波等离子体鞘层
补充资料：反应碰撞能量分布
分子式：
CAS号：
性质：是所有碰撞的麦克斯韦—玻尔兹曼能量分布函数乘以激发函数的积，并以dNR/NdER对正作图即得反应碰撞的能量分布曲线Ⅱ(图暂缺)。I线是所有碰撞的能量分布曲线σR是激发函数的曲线。据阿累尼乌斯活化能定义dlnk/dT=Ea/RT2可得 ，即阿累尼乌斯活化能是引起反应的所有碰撞的平均能量与所有碰撞的平均能量的差值。
CAS号：
性质：是所有碰撞的麦克斯韦—玻尔兹曼能量分布函数乘以激发函数的积，并以dNR/NdER对正作图即得反应碰撞的能量分布曲线Ⅱ(图暂缺)。I线是所有碰撞的能量分布曲线σR是激发函数的曲线。据阿累尼乌斯活化能定义dlnk/dT=Ea/RT2可得 ，即阿累尼乌斯活化能是引起反应的所有碰撞的平均能量与所有碰撞的平均能量的差值。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条