1) excime laser deposition
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准分子激光沉积
2) pulsed excimer laser deposition
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脉冲准分子激光沉积
3) pulsed laser desposition
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准分子脉冲激光沉积
4) pulsed KrF laser deposition
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KrF准分子脉冲激光沉积
5) WO_3(V)thin films
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脉冲准分子激光沉积(PLD)
6) Excimer laser
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准分子激光
1.
The quality study on excimer laser-induced electrochemical etching of silicon;
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准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
2.
Experimental research of micromachining silicon by excimer laser ablation in air and under water;
水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
3.
Study on a method of improving the quality of excimer laser drilling;
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提高准分子激光打孔质量的方法研究
补充资料:准分子激光器
分子式:
CAS号:
性质:用激基复合物为工作介质时得到的脉冲式相干辐射光源。更恰当的名称应当是激基复合物激光器。典型的激光介质有稀有气体的卤化物(如Xe-Cl,KrF等)。发射波长在紫外区。
CAS号:
性质:用激基复合物为工作介质时得到的脉冲式相干辐射光源。更恰当的名称应当是激基复合物激光器。典型的激光介质有稀有气体的卤化物(如Xe-Cl,KrF等)。发射波长在紫外区。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条