1) excime laser deposition
准分子激光沉积
2) pulsed excimer laser deposition
脉冲准分子激光沉积
3) pulsed laser desposition
准分子脉冲激光沉积
4) pulsed KrF laser deposition
KrF准分子脉冲激光沉积
5) WO_3(V)thin films
脉冲准分子激光沉积(PLD)
6) Excimer laser
准分子激光
1.
The quality study on excimer laser-induced electrochemical etching of silicon;
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
2.
Experimental research of micromachining silicon by excimer laser ablation in air and under water;
水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
3.
Study on a method of improving the quality of excimer laser drilling;
提高准分子激光打孔质量的方法研究
补充资料：准分子激光器
分子式：
CAS号：
性质：用激基复合物为工作介质时得到的脉冲式相干辐射光源。更恰当的名称应当是激基复合物激光器。典型的激光介质有稀有气体的卤化物(如Xe-Cl，KrF等)。发射波长在紫外区。
CAS号：
性质：用激基复合物为工作介质时得到的脉冲式相干辐射光源。更恰当的名称应当是激基复合物激光器。典型的激光介质有稀有气体的卤化物(如Xe-Cl，KrF等)。发射波长在紫外区。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条