1) chemical mechanical planarization
集成平坦化
3) planarization
平坦化
1.
Performance and analysis of the planarization technologyin IC manufacture;
IC制造中平坦化技术的性能与分析
2.
A Planarization Technique for Fully Dielectrically Isolated SOI IC s;
一种适合SOI全介质隔离电路的平坦化技术
3.
Polyimide passivation and planarization process techniques for high speed InP/InGaAs single heterojunction bipolar transistors(SHBTS)are developed.
成功地将Polyimide钝化平坦化工艺应用于InP/InGaAs单异质结晶体管制作工艺中。
4) flatness
[英]['flætnis] [美]['flætnɪs]
平坦化
1.
In the experiment,aiming at the silicon wafer CMP flatness,some investigations on the effects of the pressure,rotation,polishing pad,slurry on the CMP were carried out.
针对硅晶圆CMP平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,减少CMP工艺中的表面划伤、抛光雾、金属离子沾污,清除残余颗粒,保证硅晶圆的平坦化质量。
2.
In preparation for the challenges of "flatness",governments must create a market environment with sound and rational rules of the game.
全球化时代,世界出现“平坦化”趋势。
3.
In the experiment,aiming at the silicon wafer CMP flatness,some investigations on the effects of the pressure,rotation,polishing pad,slurry on the CMP were carried out.
针对硅晶圆 CMP 平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,减少 CMP 工艺中的表面划伤、抛光雾、金属粒子沾污,清除残余颗粒,保证硅晶圆的平坦化质量。
5) plateau curing
平坦硫化
6) integration uniformed simulation platform
集成一体化平台
补充资料：Toolbox---与SolidWorks完全集成的智能化标准零件库
Toolbox三维零件库是同三维CAD软件SolidWorks完全集成的三维标准零件库。
Toolbox充分利用了SolidWorks的智能零件技术（独特的自动化装配技术）而开发的用应软件。
Toolbox是一个操作简单、每天都需要的软件。有了Toolbox，你无需翻阅零件目录来查找标准件的尺寸和规格，无需担心标准件的配合，无需一次一个垫片、一次一个螺栓、一次一个螺母地进行装配。有了Toolbox，你可立即查阅所有的标准件库，一本虚拟的《机械设计手册》，你可以在很短的时间内选出正确的标准件，并放到正确的位置。
不必重新生成标准件
你不用再生成标准件来满足你模型的需要，所有的需要都在你的桌面上了。你如果需要插入一个螺钉？只要指定孔的尺寸和螺纹规格并点击就可以了，螺钉会出现在Toolbox的浏览器内，你只要简单把它拖到你的模型内就可以了。Toolbox让你在操作时参数化地定义标准件。假如你需要在装配体中加入一个轴承，你只要选取圆形边后选取“产生”，Toolbox立即在装配体中生成轴承并自动定义同轴和面的重合配合关系。
智能零件技术使得装配标准件更加容易
当你需要螺钉、垫片和螺母来完成装配时，你只要指定孔的尺寸即可，Toolbox可以帮助你完成其余的工作。正确的螺钉、垫片、螺母在几秒钟内放到正确的位置。装一处或一百处时一样的，只需轻轻一点。SolidWorks的智能零件技术，自动地选择合适的紧固件并按正确的顺序进行装配。
动力传动装置
凸轮的设计变得非常容易。清晰的对话框立刻弹出，让你在很短的时间内设计出最复杂的凸轮。你只需简单地指定从动杆的类型、运动轨迹和凸轮样式，你所做的只是用鼠标一点。动力传动装置包括链条和皮带传动。
工程标准化
Toolbox可以简单地检查你的模型是否符合工业标准或本企业标准，通过标准向导，你可以对Toolbox进行重新配置，包括其命令。
与SolidWorks百分之百的集成
Toolbox易学易用并可以随意调整，在一小时内就可以学会。
工业标准
ANSI， BSI， DIN， ISO， JIS，自定义企业标准
标准件种类
• 轴承
• 轴承使用寿命计算
• 螺栓和螺钉
• 拉压弹簧
• 常用夹具
• 螺母
• 销钉
• 垫片
• PEM插件
• 防松螺母
结构类型
• 铝截面
• 钢截面
• 梁的计算
传动装置
• 凸轮
• 链传动
• 皮带传动
Toolbox充分利用了SolidWorks的智能零件技术（独特的自动化装配技术）而开发的用应软件。
Toolbox是一个操作简单、每天都需要的软件。有了Toolbox，你无需翻阅零件目录来查找标准件的尺寸和规格，无需担心标准件的配合，无需一次一个垫片、一次一个螺栓、一次一个螺母地进行装配。有了Toolbox，你可立即查阅所有的标准件库，一本虚拟的《机械设计手册》，你可以在很短的时间内选出正确的标准件，并放到正确的位置。
不必重新生成标准件
你不用再生成标准件来满足你模型的需要，所有的需要都在你的桌面上了。你如果需要插入一个螺钉？只要指定孔的尺寸和螺纹规格并点击就可以了，螺钉会出现在Toolbox的浏览器内，你只要简单把它拖到你的模型内就可以了。Toolbox让你在操作时参数化地定义标准件。假如你需要在装配体中加入一个轴承，你只要选取圆形边后选取“产生”，Toolbox立即在装配体中生成轴承并自动定义同轴和面的重合配合关系。
智能零件技术使得装配标准件更加容易
当你需要螺钉、垫片和螺母来完成装配时，你只要指定孔的尺寸即可，Toolbox可以帮助你完成其余的工作。正确的螺钉、垫片、螺母在几秒钟内放到正确的位置。装一处或一百处时一样的，只需轻轻一点。SolidWorks的智能零件技术，自动地选择合适的紧固件并按正确的顺序进行装配。
动力传动装置
凸轮的设计变得非常容易。清晰的对话框立刻弹出，让你在很短的时间内设计出最复杂的凸轮。你只需简单地指定从动杆的类型、运动轨迹和凸轮样式，你所做的只是用鼠标一点。动力传动装置包括链条和皮带传动。
工程标准化
Toolbox可以简单地检查你的模型是否符合工业标准或本企业标准，通过标准向导，你可以对Toolbox进行重新配置，包括其命令。
与SolidWorks百分之百的集成
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工业标准
ANSI， BSI， DIN， ISO， JIS，自定义企业标准
标准件种类
• 轴承
• 轴承使用寿命计算
• 螺栓和螺钉
• 拉压弹簧
• 常用夹具
• 螺母
• 销钉
• 垫片
• PEM插件
• 防松螺母
结构类型
• 铝截面
• 钢截面
• 梁的计算
传动装置
• 凸轮
• 链传动
• 皮带传动
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条