1) high-precision orientation stage
精密定位工作台
1.
A high-precision orientation stage was designed for high-resolution imprint machines.
为了获得高分辨率压印图形 ,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台。
2) precision stage
精密工作台
1.
High acceleration movements of a precision stage result in reaction forces that lead to mechanical resonance in the stage,which reduces the tracking accuracy and lengthens the positioning time.
精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参数匹配的方法设计P ID控制器。
2.
The precision stage driven by a linear-motor and sustained by air-bearing tracks has the characteristics of zero mechanical damping and weak anti-disturbance.
针对直线电机驱动、气浮导轨支撑的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110μs)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响,提高工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器,构成PD+扰动观测器的运动控制结构。
3.
In order to improve the tracking accuracy and dynamical response of the precision stage,based on the discrete model of the identified control object,pole assignment method is used to design the feedforward loop and feedback loop of the motion controller for the precision stage.
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器的前馈环节和反馈环节,构成具有两自由度结构的精密工作台运动控制系统。
3) precision table
精密工作台
1.
Research on manufacturing point displacement calculation of NC precision table of six slides under vertical load and torque load;
数控六滑块精密工作台系统加工点位移计算的研究
2.
The Calculation of Displacement in Manufacturing Point of NC Precision Table;
数控6滑块精密工作台加工点位移计算的研究
4) positioning stage
定位工作台
1.
Super-precision positioning stage with nanometer resolution;
具有纳米级分辨率的超精密定位工作台
2.
Based on the SWLI and developed scanning positioning stage with optical grating measuring system, by used of the innovated domestic 6JA model interferometer, an optical profiler was developed which can finish automatically such works as vertical scanning motion of the stage, positioning of CCD samp.
本文基于扫描白光显微干涉测量原理,利用研制的光栅计量型扫描定位工作台,通过对国产6JA显微仪光学系统的改造,实现了在计算机控制下的工作台垂直扫描、光栅计量定位、CCD采集干涉图像、计算机自动完成形貌计算和评定的扫描白光干涉微观形貌测量系统。
5) micro-positioning stage
精密定位平台
1.
This paper employed piezoelectric actuators to drive a 3-DOF micro-positioning stage to improve the performance of the stage.
本文将压电陶瓷驱动器用于驱动三自由度精密定位平台，为提高平台的定位性能进行了如下研究。
6) Ultraprecision stage
超精密工作台
1.
Ultraprecision stage with large travel and nanometer resolution was built with linear motor and aerostatic slide.
采用直线电动机加气浮导轨模式搭建大行程纳米级分辨率的超精密工作台,并建立超精密工作台进给系统的数学模型。
2.
The key technology in the design of ultraprecision stage with large travel and nanometer resolution is discussed,and the design proposal,the material,the guide way,the drive manner,measuring feedback and control system of some ultraprecision stage with large travel at home and abroad are introduced.
讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。
补充资料：超净台工作原理、使用方法及管理
超净台的优点是操作方便自如，比较舒适，工作效率高，预备时间短，开机１０分钟以上即可操作，基本上可随时使用。在工厂化生产中，接种工作量很大，需要经常长久地工作时，超净台是很理想的设备。超净台由三相电机作鼓风动力，功率１４５～２６０Ｗ左右，将空气通过由特制的微孔泡沫塑料片层叠合组成的“超级滤清器”后吹送出来，形成连续不断的无尘无菌的超净空气层流，即所谓“高效的特殊空气”，它除去了大于０．３μｍ的尘埃、真菌和细菌孢子等等。超净空气的流速为２４～３０ｍ／ｍｉｎ，这已足够防止附近空气可能袭扰而引起的污染，这样的流速也不会妨碍采用酒精灯或本生灯对器械等的灼烧消毒。工作人员就在这样的无菌条件下操作，保证无菌材料在转移接种过程中不受污染。但是万一操作中途遇到停电，暴露在未过滤空气中的材料便难以避免污染。这时应迅速结束工作，并在瓶上作出记号，内中的材料如处于增殖阶段，则以后不再用作增殖而转入生根培养。如为一般性生产材料，因其极其丰富也可弃去。如处于生根过程，则可留待以后种植用。
超净台电源多采用三相四线制，其中有一零线，连通机器外壳，应接牢在地线上，另外三线都是相线，工作电压是３８０Ｖ。三线接入电路中有一定的顺序，如线头接错了，风机会反转，这时声音正常或稍不正常，超净台正面无风可用酒精灯火焰观察动静，不宜久试，应及时切断电源，只要将其中任何两相的线头交换一下位置再接上，就可解决。三相线如只接入两相，或三相中有一相接触不良，则机器声音很不正常，应立即切断电源仔细检修，否则会烧毁电机。这些常识应在开始使用超净台时就向工作人员讲解清楚，免除不应造成的事故与损失。
超净台进风口在背面或正面的下方，金属网罩内有一普通泡沫塑料片或无纺布，用以阻拦大颗粒尘埃，应常检查、拆洗，如发现泡沫塑料老化，要及时更换。除进风口以外，如有漏气孔隙，应当堵严，如贴胶布，塞棉花，贴胶水纸等。工作台正面的金属网罩内是超级滤清器，超级滤清器也可更换，如因使用年久，尘粒堵塞，风速减小，不能保证无菌操作时，则可换上新的。
超净台使用寿命的长短与空气的洁净程度有关。在温带地区超净台可在一般实验室使用，然而在热带或亚热带地区，由于大气中含有高量的花粉，或多粉尘的地区，超净台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情况下都不应将超净台的进风罩对着开敞的门或窗，以免影响滤清器的使用寿命。
超净台电源多采用三相四线制，其中有一零线，连通机器外壳，应接牢在地线上，另外三线都是相线，工作电压是３８０Ｖ。三线接入电路中有一定的顺序，如线头接错了，风机会反转，这时声音正常或稍不正常，超净台正面无风可用酒精灯火焰观察动静，不宜久试，应及时切断电源，只要将其中任何两相的线头交换一下位置再接上，就可解决。三相线如只接入两相，或三相中有一相接触不良，则机器声音很不正常，应立即切断电源仔细检修，否则会烧毁电机。这些常识应在开始使用超净台时就向工作人员讲解清楚，免除不应造成的事故与损失。
超净台进风口在背面或正面的下方，金属网罩内有一普通泡沫塑料片或无纺布，用以阻拦大颗粒尘埃，应常检查、拆洗，如发现泡沫塑料老化，要及时更换。除进风口以外，如有漏气孔隙，应当堵严，如贴胶布，塞棉花，贴胶水纸等。工作台正面的金属网罩内是超级滤清器，超级滤清器也可更换，如因使用年久，尘粒堵塞，风速减小，不能保证无菌操作时，则可换上新的。
超净台使用寿命的长短与空气的洁净程度有关。在温带地区超净台可在一般实验室使用，然而在热带或亚热带地区，由于大气中含有高量的花粉，或多粉尘的地区，超净台则宜放在较好的有双道门的室内使用。任何情况下都不应将超净台的进风罩对着开敞的门或窗，以免影响滤清器的使用寿命。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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