1) air bearing surface
气垫面
1.
A model of air bearing surface was investigated and solved using the finite volume method for analysis of the flying characteristics.
微工作台正负压力并存的结构极大地提高了承载刚度及工作稳定性;气垫面的V形轨道设计及独特的负压力布局有效减少了流入SIL底面的灰尘颗粒;SIL底面刻饰的凸台有利于获得较高的近场耦合效率,同时减小了与盘面碰撞的概率。
2) cushion area
气垫面积
3) face mask cushion
面罩气垫
4) base cavity
气垫下水面凹穴
5) cushion leakage area
气垫逸流面积
6) The effective pressure of surface
下垫面有效气压
补充资料：不看金面看佛面
1.同"不看僧面看佛面"。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条