1) imprint
压印机
1.
To increase alignment precision of overlay imprint lithography,factor analysis method is adopted to select the temperature variable of thermal error model.
为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个。
2) stamping mechanism
压印机构
3) step imprint tool
步进压印机
1.
Thermally induced error during the exposure process is a major contribution to the repeatable alignment accuracy of the step imprint tool in imprint lithography system.
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15 个减少到6 个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型。
4) roll-leaf stamping press
卷箔压印机
5) labelling press
商标压印机
6) hand spindle press
手动压印机
参考词条
补充资料：压塑压机
分子式：
CAS号：
性质：指塑料压塑模塑用的压机，一般用自给式液压机，通过模板对塑料施加压力、开闭模具和顶出制品。主要参数有公称吨位、压板尺寸、工作行程和柱塞直径，它们决定着压机所能模压制品面积的大小、厚度以及所能达到的最大模压压力。从结构上分，有上压式和下压式压机；按操作分，有手动、半自动和全自动压力。
CAS号：
性质：指塑料压塑模塑用的压机，一般用自给式液压机，通过模板对塑料施加压力、开闭模具和顶出制品。主要参数有公称吨位、压板尺寸、工作行程和柱塞直径，它们决定着压机所能模压制品面积的大小、厚度以及所能达到的最大模压压力。从结构上分，有上压式和下压式压机；按操作分，有手动、半自动和全自动压力。
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