2) capacitively coupled discharge
电容耦合放电
3) inductively-coupled discharge
电感耦合放电
1.
Studies of the mechanism of capacitively- and inductively-coupled discharges are discussed, especially the key problems of dual frequency capacitively-coupled discharge and plasma sheaths.
介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题。
4) RC compling amplifier
RC耦合放大电路
5) inductively coupled discharge
感应耦合放电
1.
the inductively coupled E mode(electrostatic discharge mode) and E-H mode transition characteristics;Through the investigation of the two topics,deeper insight of radio-frequency inductively coupled discharge equipment can be gained,which offers the true value for the industry application.
在实验中将H型放电和E型放电通过光亮度、功率和输入线圈电流的不同加以区分,明确此两类感应耦合放电的原理。
6) reactance amplifier
电抗耦合放大器
补充资料：50％冲击放电电压
50％冲击放电电压
50% impulse breakdown voltage
50%‘弓10，191.}〔J，lgd一。lzld一。rl丫。150%;中击放电电压(50%impulse breakdownvoltage)绝缘间隙在多次施加冲击电压时，其中半数导致击穿的电压。 要使绝缘间隙击穿，需要加足够高的电压以及足够长的电压作用时间。放电时间包括电压上升达到稳态击穿电压所需的时间和放电时延。放电时延又由两部分构成:统计一时延和放电形成时延。前者指达到稳态击穿电压后到间隙中出现有效(对击穿)的自由电子为止的时延;后者指从出现有效的自由电子直到击穿通道完全形成为止的时间。放电时延有分散性。放电时间随所加电压的增高而缩短。 在作用时间短促的冲击电压下，由于放电时延有分散性，当所加电压峰值固定，但还不够高时，击穿有时发生，有时不发生。施加多次电压时，击穿概率可表现为一定的百分比。由于难以准确地求得刚好发生击穿的临界电压，所以采用50%冲击放电电压来反映间隙耐受冲击电压的特性。在实验中决定50%冲击放电电压时，施加电压的次数越多越准确。在用测量球隙测量冲击电压时，所采用的实用而简单的方法是，调整电压至施加10次电压中有4一6次击穿，这个电压值就可作为某一间隙下的50%冲击放电电压。采用5。%冲击击穿电压决定绝缘距离时，应根据分散性的大小，留有一定的裕度。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条