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1)  alignment accuracy
对准精度
1.
Results show that the alignment accuracy is obviously improved by the (electro-)optical modulation.
介绍了投影光刻机离轴对准系统的结构和相位探测的原理,详细讨论了电光相位调制技术抑制杂散光的机理,并分析比较了有无杂散光对光刻对准精度的影响。
2.
The analyzing results show that LAPLAC operator is better than the others according to placement and alignment accuracies,but the revised SOBEL II operator is the best method of the alignment accuracy,and it has the shortest aligning time and the highest align.
针对三种不同的图像边缘增强方法进行了掩模和硅片识别精度以及对准精度的实验验证。
2)  high precision orientation
高精度对准
3)  precision of initial alignment
初始对准精度
4)  alignment accuracy
位置对准精确度
5)  relative accuracy
相对准确度,相对精度
6)  refined initial alignment
精对准
1.
SINS refined initial alignment based on Elman neural network and Kalman filtering;
基于Elman神经网络和Kalman滤波的捷联惯导精对准
补充资料:螺纹参数的精度与经济精度的分别
螺纹参数的精度与经济精度的分别

    螺纹参数也有其精度与经济精度之分别吗?


 


零件的参数有精度与经济精度的概念,螺纹作为零件的一种,其参数自然也有精度与经济精度的概念。搞清楚具体螺纹参数的精度与经济精度的分别,知道哪个参数在标准中是“精度”的意义,哪个参数是“经济精度”的意义,对认识现时螺纹精度存在的问题,通过设计的改进,有效提高螺纹的精度,生产各种“高精度螺纹”,具有重大的指导意义。

    1.零件参数的精度与经济精度的概念

    让我们先来复习一下零件参数的“精度”与“经济精度”的概念。

    《GB1800 公差与配合》标准,对“精度”有准确的定义。在机械制造中,我们常常会选择和标注的某一零件参数的精度,也就是我们平常所见所说的公差,这个精度高低(公差的大小),是国际标准公差(IT)的大小排定的。

    那么,“经济精度”又是一个什么样的概念呢?这个概念在该国家标准中没有说明,在其它的资料中,也很少有表述。

    “经济精度”其实是一个“实践的概念”,所谓“实践的概念”,是一种“可变的”内在关系。

    这话怎么解?如我们现在的普通车床,它加工零件的精度可达IT6级,磨床,可达IT4级。这个“级数”,既是就机床的精度,也是就机床的“经济精度”而言的;也就是说,用这种机床生产加工零件,实现或达到上述的精度是正常的精度,是客观的精度,是一种客观上可“自然地”、“轻松地”实现的能力或内在关系。另一方面,这种“经济精度”也是可变的,如几十年后,我们制造车床的精度水平提高了,这种车床实现IT5级或IT4级精度都是一件“轻松”的事时,则这时车床的经济精度就提高到了IT5级或IT4级了。

    这段话,说得虽不很清楚,但实践中我们的设计人员会自如地做到:当零件只需要用普通车床加工就能满足使用要求时,他绝不会选择或标注一个IT5级以上的精度,否则,我们的车间工艺人员就得增加一道磨削的工序了,因为磨削才是IT5级以上精度所能“轻松”达到的“经济精度”。这是第一层关系的意思。

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