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1)  dual-frequency laser heterodyne interference
双频激光外差干涉法
2)  heterodyne interferometry
外差激光干涉法
3)  laser heterodyne interferometer
激光外差干涉
1.
A new laser heterodyne interferometer with common optical path is described.
设计了一种共光路声光调制激光外差干涉仪,它能抵消干涉光路中空气扰动的影响,实验证明它对空气扰动的抑制是有效的。
2.
To measure the nonlinearity in laser heterodyne interferometer,a novel method to measure the nonlinearity was proposed.
为了精确测量激光外差干涉非线性误差,提出了一种新的激光外差干涉非线性误差测量方法。
4)  Laser heterodyne interferometry
激光外差干涉术
5)  dual-frequency laser interferometer
双频激光干涉仪
1.
The nonlinearity error of the dual-frequency laser interferometer with two longitudinal modes and special subsequent electrical signal processing system was studied.
对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。
2.
A dual-frequency laser interferometer with moderate frequency differences was made using the Zeeman laser with frequency differences of about 7 MHz as the light source to improve measurements at higher speeds.
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。
3.
The working principle of the dual-frequency laser interferometer which produced by Renishaw company was analyzed and the dual-frequency laser interferometer was used aiming at error parameter identification for the grading machine.
在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。
6)  laser interferometer
双频激光干涉仪
1.
In measuring positional deviation EXX of numerically controlled axes (NCA),a laser interferometer is used.
在使用双频激光干涉仪对数控轴线位置偏差 EXX的测量中 ,建立了数控轴线单向实际位置的模型并报告了合成标准不确定度 ,较好地解决了各不确定度来源项对合面标准不确定度的贡献途径问题 ,并得出结论 :( 1 )是否实施温度补偿对不确定度传播律的影响在于 P2i△t2 u2 ( α)项的无或有 ;( 2 )实施温度补偿 ,温度测量的不确定度 u(△ t)对合成标准不确定度 uc( Li↑ )的贡献 ,随目标位置 Pi 的增加大幅增加 (注 :Li↑在文献〔3〕中为 Pi↑ ) 。
补充资料:外差干涉仪
      又称双频干涉仪或交流干涉仪。是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束。通过光电探测器的混频,输出差频信号(受光电探测器频响的限制,频差一般在 100兆赫以内)。被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多普勒频移载于此差频上,经解调即可获得被测数据的仪器。
  
  外差干涉仪的突出优点是:①由于物体变化所产生的多普勒频移信息是载于稳定的差频上,且其频率较高(几兆至100兆赫),因此,光电探测时避过了激光器的低频噪声和半导体器件的1/f噪声区;又利用频率跟踪等外差解调技术大量滤除了宽带噪声,因此提高了光电信号的信噪比。例如零差干涉测长仪中,当测量光束受外界干扰光强衰减50%时,就不易正常工作,而外差干涉测长仪则可在光强衰减90%时仍能正常工作,因此能用于生产现场,并能测量较长距离(大于60米)。②可以直接从输出频率相对于差频的增减判别运动的方向,因此可以测量物体的连续变化过程如随机振动波形,气流扰动随时间变化过程,而零差干涉仪较难实现。
  
  外差干涉仪现已广泛应用于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光学中的鉴相器等领域,获得了比零差干涉仪更高的精度。
  
  外差干涉仪中两种不同频率的光束可由两只稳频的激光器提供,也可以利用磁光、电光、声光效应或旋转光栅盘的衍射效应提供。
  

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