1) sub-angstrom resolution
亚埃分辨率
2) Sub micron resolution
亚μm分辨率
3) submicron resolution
亚微米分辨率
4) Sub-resolution assist features
亚分辨率辅助图形
5) Sub-resolution
亚分辨
1.
Fabrication Process of Phase-Shifting Masks With Sub-resolution Patterns;
亚分辨图形相移掩模的制作方法
6) resolution
[英][,rezə'lu:ʃn] [美]['rɛzə'luʃən]
分解，分辨，分辨率
补充资料：埃亚西湖
坦桑尼亚北部内陆湖。在阿鲁沙西152公里。由断层陷落形成。东西长72公里，南北宽16公里。有文贝雷河等注入。有食盐、天然碱等资源。
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参考词条