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1)  micro-actuator
微位移器
1.
A micro-actuator with 3 freedoms consists of two concentric rings with thickness of 0.
具有三自由度的微位移器的组成为:掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0。
2)  PZT micro-displacement
PZT微位移器
3)  micro displacement actuator
微位移驱动器
1.
The paper analyses the present status of modeling and control studying for system with hysteresis nonlinearity in micro displacement actuator.
对微位移驱动器的迟滞非线性系统建模和控制研究的现状分析,得知目前的迟滞非线性补偿控制主要是针对单环情况进行,而对多环迟滞补偿控制仍然很困难。
4)  Micro-displacement sensor
微位移传感器
1.
The intelligent detection system selected TI company\'s TMS320F2812 as the microcontroller, it can transmission or handling hubs, control the micro-displacement sensor\'s probe, data sampling and the communication with the position machine.
该智能检测系统选用TI公司的TMS320F2812作为核心控件,主要实现待测轮毂的传送、装卸、微位移传感器测头的定位、采样点的数据采集及和上位PC机的通信。
5)  micro displacement sensor
微位移传感器
1.
Based on the composition and working principle of the proposed control system,the thickness of lubricating film was precisely measured through the high accuracy electric eddy micro displacement sensors in the system,and the thickness of the micron dimension lubricating film was controlled with feedback proportional-integral-differentia.
基于该控制系统的组成和工作原理,使用系统中的高精度电涡流微位移传感器对润滑膜厚度进行精密测量。
2.
High-precision micro displacement sensor is one of the key technologies of the surface metrology.
高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一。
3.
The theoretical vertical resolution of the micro displacement sensor may achieve 0.
该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成。
6)  micro-displacement actuator
微位移驱动器
1.
Research of micro-displacement actuator modeling and simulation technology;
微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究
2.
Aiming at the structure and communication demand of a micro-displacement actuator control system developed by author, the serial communication technology in this master-slave control system is studied , the hardware interface is designed and a communication program between PC and DSP is developed .
介绍TMS320F2812DSP异步串行通信模块(SCI)功能特征的基础上,针对自行开发的微位移驱动器控制系统结构和通信的要求,从事以PC微机为上位机、DSP为下位机的主从式控制系统串行通信技术的研究,探讨串行通信接口的硬件实现技术,开发相关的串行通讯软件,并通过具体通信实例进行了验证,表明所提出的方法简单有效,满足控制系统的要求。
3.
The piezoelectric micro-displacement actuator has been used in the precision orientation technology widely because of its outstanding advantage.
压电陶瓷微位移驱动器具有体积小,位移分辨率高,频响高,承载力大等特点,广泛应用于精密定位技术中。
补充资料:位移传感器
      把位移转换为电量的传感器。传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在这种转换过程中有许多物理量(例如压力、流量、加速度等)常常需要先变换为位移,然后再将位移变换成电量。因此位移传感器是一类重要的基本传感器。在生产过程中,位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。机械位移包括线位移和角位移。按被测变量变换的形式不同,位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型(如自发电式)和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多,包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器(见电感式传感器)、自整角机、电容式位移传感器(见电容式传感器)、电涡流式位移传感器(见电涡流式传感器)、霍耳式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统(见数字式传感器)。这种传感器发展迅速,应用日益广泛(见感应同步器、码盘、光栅式传感器、磁栅式传感器)。
  
  电位器式位移传感器  它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是,为实现测量位移目的而设计的电位器,要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。图1中的电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值,阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。通常在电位器上通以电源电压,以把电阻变化转换为电压输出。线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化,其输出特性亦呈阶梯形。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件,则过大的阶跃电压会引起系统振荡。因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。它的优点是:结构简单,输出信号大,使用方便,价格低廉。
  
  霍耳式位移传感器  它的测量原理是保持霍耳元件(见半导体磁敏元件)的激励电流不变,并使其在一个梯度均匀的磁场中移动,则所移动的位移正比于输出的霍耳电势。磁场梯度越大,灵敏度越高;梯度变化越均匀,霍耳电势与位移的关系越接近于线性。图2中是三种产生梯度磁场的磁系统:a系统的线性范围窄,位移Z=0时,霍耳电势≠0;b系统当Z<2毫米时具有良好的线性,Z=0时,霍耳电势=0;c系统的灵敏度高,测量范围小于1毫米。图中N、S分别表示正、负磁极。霍耳式位移传感器的惯性小、频响高、工作可靠、寿命长,因此常用于将各种非电量转换成位移后再进行测量的场合。
  
  光电式位移传感器  它根据被测对象阻挡光通量的多少来测量对象的位移或几何尺寸。特点是属于非接触式测量,并可进行连续测量。光电式位移传感器常用于连续测量线材直径或在带材边缘位置控制系统中用作边缘位置传感器。
  
  参考书目
   张是勉、杨树智编著:《自动检测》,科学出版社,北京,1987。
  

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