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1)  Silicon MEMS
硅MEMS
2)  bulk silicon MEMS
体硅MEMS
3)  silicon-based MEMS
硅基MEMS
4)  CMOS-MEMS bulk gyroscope
CMOS-MEMS体硅陀螺
5)  bulk-silicon MEMS process
体硅MEMS加工工艺
6)  Mems Silicon Microphone
MEMS硅微麦克风
补充资料:二氯二甲基硅烷与二氯二苯基硅烷、三氯甲基硅烷、三氯苯基硅烷和三氯苯基硅烷的聚合物
CAS:28630-33-3
分子式:(C12H10Cl2Si·C6H5Cl3Si·C2H6Cl2Si·CH3Cl3Si)x
中文名称:二氯二甲基硅烷与二氯二苯基硅烷、三氯甲基硅烷、三氯苯基硅烷和三氯苯基硅烷的聚合物
英文名称:Silane, dichlorodimethyl-, polymer with dichlorodiphenylsilane, trichloromethylsilane and trichlorophenylsilane silane, dichlorodimethyl-, polymer with dichlorodiphenylsilane, trichloromethyl
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