1) Three-dimensional small angles
三维小角度
2) two-dimensional small angle
二维小角度
1.
This article is based on auto-collimation to detect two-dimensional small angle.
二维小角度的测量方法很多,本文是基于自准直法对二位小角度测量进行研究。
3) small-angle triangle
小角度三角形
5) angular range of motion
三维运动角度
6) cam angle
三角角度
补充资料：Anglelapping角度研磨
angle lapping 的目的是为了测量junction的深度，所作的芯片前处理，这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小，准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理，采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度，精确度远超过入射光干涉法。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条