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1)  miromaching
微机械加工工艺
2)  Micromachining process
微机械工艺
3)  Machining process
机械加工工艺
1.
Based on ontology theory and its knowledge presentation methods,the machining process knowledge is described.
利用本体表述知识的先进思想,对机械加工工艺知识进行了本体描述,提出了基于本体实现工艺知识管理的方法;探讨了机械加工工艺知识本体的构建过程;给出了基于本体的工艺知识管理系统的结构。
4)  micromachining [,maikrəumə'ʃi:niŋ]
微机械加工
1.
The Study of Temperature-Sensitive Sensor with Porous-Si Micromachining;
多孔硅微机械加工温敏传感器的研究
2.
The plate configurations have great effects on the polarization characteristics of micro direct methanol fuel cell (μDMFC), and this paper presented three different flow field configurations of DMFC using micromachining technology.
极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性,采用微机械加工技术制作几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池。
3.
Compared with bulk micromachining and surface micromachining, the advantages of porous silicon technology are presented in detail.
简要介绍了多孔硅的结构和制备方法 ;与体微机械和表面微机械加工技术相比 ,多孔硅技术的优势被详细阐述 ;针对多孔硅材料的性质 ,讨论了多孔硅在不同领域的应用。
5)  MEMS
微机械加工
1.
By using an extremely slow rate of Si (111) plane etching in anisotropic KOH,along with DRIE and other MEMS processes,the dimension of these beams can be accurately controlled,and the symmetry .
提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件。
6)  micromachined process
微机械工艺技术
补充资料:机械加工工艺系统及误差
机械加工工艺系统及误差

 

. 熟悉工艺系统概念,

. 理解系统的误差有些困难。实际上,工艺系统也是制造出来的,它也必然存在制造误差;在使用中,工艺系统中的机床、刀具、夹具必然存在磨损导致的误差;刀具、工件在加工中的安装与调整也会存在误差等等。这些误差与系统中身的结构状态有关。在切削过程中还会产生系统受力、受热引起的误差。

 

影响加工精度的因素归纳起来有:

. 工艺系统的几何误差;

. 力效应产生的误差;

. 热变形产生的误差;

. 内应力引起的变形误差;

. 测量误差。

 

原始误差与加工误差

 
. 由于工艺系统的原始误差的存在,使得加工后的工件产生的误差就是加工误差。或者可以认为加工误差是工艺系统存在的原始误差在工件上得到的表现。

 

系统性误差与随机性误差

 

. 掌握误差类型与性质。

. 应当熟悉,无论是系统误差,还是随机误差,

. l)都是描述加工误差的;

. 2)都是单因素误差,即孤立地由一种原因引起的误差;

. 3)实际生产活动中,影响加工精度的原因往往是错综复杂的。因此,单因素分析法不便分析问题时,常使用统计方法解决实际问题。
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参考词条