1) Surface Micropiastic Treatment
表面微塑性加工
3) surface micromachining process
表面微加工工艺
1.
Based on the microelectromechanical systems(MEMS) technology,a new microprogrammable grating with tunable blazing angle was designed and fabricated by using the two-layer polysilicon surface micromachining process.
在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺,设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅。
4) micro-plastic-forming
微细塑性加工
5) polymeric MEMS
塑性材料微加工
6) non-silicon surface micromachining
非硅表面微加工
1.
Design and dynamics simulation of MEMS inertia micro-switch based on non-silicon surface micromachining;
基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真
补充资料:塑性加工
塑性加工
Plastie working of materials
塑性加工p一astiC working of materials在外力(多数是压力)作用下利用材料的塑性改变其形状、尺寸和性能的加工方法。又称压力加工。 塑性加工是一种具有悠久历史的工艺,古时候它曾是炼钢的一种手段,成语“千锤百炼”即来源于此。远在南北朝时代中国就用冷作硬化锻出痪子甲,用于作战时护身。现代可进行塑性加工的材料已经从金属扩大到高分子材料及陶瓷材料。塑性加工按加工温度也已经由热锻、冷锻扩大到低温成型与近熔点成型,按加工的应变速度也发展出低自蠕变成型,高至爆炸成型及高能率成型。随着新材料的不断问世以及使用要求的提高,新的塑性加工方法也不断涌现和发展。 特点和种类塑性加工与切削加工不同,在成型过程中工件的质量不变;塑性加工也与铸造不同,在成型过程中工件为固态塑性变形。对于致密体的塑性加工,由于其密度为一常数,加工前后工件的体积也保持不变。 塑性加工分为第一次成型加工及第二次成型加工两种。前者是以铸锭为原料,用轧制、挤压或拉拔等方法将其加工成板材、线材、管材、棒材及型材,主要是在冶金厂进行;后者通常是以冶金厂的产品为原料,用锻造或冲压的方法将其加工成零件或零件毛坯,主要是在机械制造厂进行。 塑性加工按原材料的形貌又可分为板料成型、块料成型和粉末成型。 塑性加工过程中使用的工具可作回转运动(如轧制、辊锻、旋转锻造、旋压、摆辗及辊弯),也可作直线运动位口模锻、深拉延、拉拔及挤压等)。 加工工艺铸锭一般是在均热炉中加热,达到始轧温度后,送往开坯轧机;如采用连铸连轧,则无需加热而直接轧制。中小合金钢锭,常在加热炉中按指定的升温曲线加热,然后送往水压机或径向锻机开坯。大型钢锭,常在台车式加热炉中按指定升温曲线加热,然后将热锭和台车拉出炉外,用吊车送往重型水压机上锻成大型锻件 对于管、棒、型材的生产,通常是将经过初轧及连轧后的坯料,再行加热、轧制并按规定的长度切断成材。进行零件毛坯锻造时,通常是将轧制的棒材按要求剪断,然后加热、模锻、切边、校正、热处理并于清理后送机械加工车间。板料的冲压一般不需加热。 成型规律塑性加工属于大塑性变形,加工过程中一般忽略弹性体积变化,即满足体积不可压缩条件,同时满足屈服准则,常用的本构关系为Levy一Mises方程 dE心一d‘幼·d只式中dE。为应变增量。该式的物理意义为:应变增量与相应的应力偏量分量a’。成正比。由此可推论塑性加工过程中必有一个方向的应变增量d£,>0,另一个方向的应变增量d£3
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参考词条