1) tunneling accelerometer
隧道加速度计
1.
Summarized up status of inside and out,the system structure of tunneling accelerometer is given and its working principle is analyzed.
介绍了量子力学中的隧道效应及其应用,对基于隧道效应原理的加速度计进行了深入研究,结合国内外研究现状,给出了一种隧道加速度计结构,并对其工作原理进行了分析。
2.
The research of signal processing circuit of micromachined tunneling accelerometer is presented in this thesis, and the method of PID controller used to control the closed-loop feedback system is analyzed for exploration.
考虑到敏感头结构对电路参数的影响,论文详细介绍了隧道加速度计敏感头及其接口电路的工作原理,重点分析了结构加工中隧尖高度、初始间距等关键结构参数对敏感头测试效果的影响;对加工成形的敏感头的结构参数和电学参数进行了测试;分析了敏感头在大气封装和真空封装下对电路设计的不同要求。
2) electronic tunneling accelerators
电子隧道加速度计
3) silicon-micro tunneling accelerometer
硅微隧道式加速度计
1.
Design on output and feedback control circuit of silicon-micro tunneling accelerometer;
硅微隧道式加速度计的输出反馈控制电路设计
4) tunneling acceleration sensor
隧道加速度传感器
1.
This paper makes a feature of piezoresistive,capacitive and tunneling acceleration sensors.
比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ,提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ,给出了工作原理和设计模型 ,最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。
5) tunneling-based acceleration sensor
隧道式加速度传感器
1.
The principle, structure and key technology of tunneling-based acceleration sensor are presented.
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。
6) rate of advance
隧道掘进速度
补充资料：加速度计
测量加速度的仪表。加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时，物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力，即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。其次，要知道各瞬时飞机、火箭和舰艇所在的空间位置，可通过惯性导航（见陀螺平台惯性导航系统）连续地测出其加速度，然后经过积分运算得到速度分量,再次积分得到一个方向的位置坐标信号,而三个坐标方向的仪器测量结果就综合出运动曲线并给出每瞬时航行器所在的空间位置。再如某些控制系统中，常需要加速度信号作为产生控制作用所需的信息的一部分，这里也出现连续地测量加速度的问题。能连续地给出加速度信号的装置称为加速度传感器。
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条