3) Termination Survey
终态检测
4) Endpoint detection
终点检测
1.
Endpoint detection in high density plasma etching system based on IEP;
基于IEP的高密度等离子体刻蚀过程终点检测技术
2.
The most obviously of all, it needs oneefficient endpoint detection system to monitor CMP operation to avoid polishing over or not polish-ing completely.
化学机械抛光是硅片全局平坦化的核心技术,然而在实用阶段上,这项技术还受限于一些制造系统整合上的问题,其中有效的终点检测系统是影响抛光成效的重要关键。
5) the end examination test
终检测试
6) detecting terminal
检测终端
补充资料:检检
1.有法度貌。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条