1) high Tc super conducting thin YBa 2Cu 3O 7 film
高温超导YBa2Cu3O7薄膜
2) preparation of YBa_2Cu_3O_7 thin films
YBa2Cu3O7超导薄膜制备
3) High temperature superconducting film
高温超导薄膜
1.
In this paper the preparation technology and research progress of fine-pat- terning of high temperature superconducting films are sammerized.
高温超导薄膜具有良好的物理性能,其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。
4) high temperature superconductor film
高温超导薄膜
1.
The laser assisted chemical etching was proposed to apply in the etching of YBCO high temperature superconductor film.
提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧(YBCO)高温超导薄膜的刻蚀,研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律,在激光辐照下,YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快,并且在整个过程中,刻蚀速率呈现加快趋势,这一特性将有可能用于改善YBCO刻蚀中的横向钻蚀情况,并提高图形边缘的侧壁陡峭度。
5) DyBa2Cu3O7 HTS film
DyBa2Cu3O7高温超导薄膜
6) HTS Film
高温超导薄膜
1.
This system use TE011-TE013 two dielectric resonates method, which was proposed by ICE/TC90, to measure the Rs of HTS films.
介绍了清华大学物理系研制的一个测量高温超导薄膜微波表面电阻的系统,展示了测量的原理和过程。
2.
Then it is becoming urgent to measure the microwave surface resistance of HTS film that is one of the most important parameters of HTS film.
高温超导薄膜制备技术的不断提高使得薄膜的应用日益广泛,因而对薄膜各种性能指标的测定也显得更加重要,这就迫切需要对超导薄膜最主要特性之一微波表面电阻进行精确的测试。
补充资料:高温超导薄膜
高温超导薄膜
high critical temperature superconducting thin film
性能优异的微波无源器件,如谐振器、滤波器、延迟线等。将这些器件用在卫星通信系统上,可大大提高通信系统的性能。 YBCO薄膜量子干涉器(SQUID)在77K温度的性能已超过商品的低温SQUID低温SQUID需要在液氦温度(4 .2K)下工作。将器件工作温度由4.2K提高到77K,将大大简化制冷系统,减轻重量,降低成本,从而扩大器件应用范围。 秘系薄膜BISrCaCuo超导体系包括3个超导相。按BisrCaCu的顺序,其组分为2201、2212与2223,大分别为20K、80K和11()K。2223相存在温区很窄,很难制备出纯的2223相。这给高Tc的BISr-CaCuo薄膜的制备带来了困难。用铅‘Pb)取代一部分Bi,可提高样品中2223相的比例,改善晶粒间连接状况,显著提高超导性能。在700℃的MgO单晶基片上,用射频磁控溅射法淀积BISrCaCuO薄膜,经过900℃、6()分钟的后续热处理,薄膜的Tc0达到95K,大(77K,一)T)达到1 .9又106A/em,。在300oC的MgO单晶片上淀积含Pb的BISrCaCuO膜,并将它与Bil.7Pbo.3 Sr,CaZCu。O、块材一起放在柑涡中,J几840℃、15小时退火.从而可得到110K的含I,b的BISrCaCuO薄膜,但Ic(77K,OT)只有300A/emZBISrCaCuO薄膜在空气中的稳定性较好。已用Bi系薄膜制出SQUll)。制备1 IOK的BISrCaCuO外延薄膜仍是研究的课题。 锐系薄膜TIBaCaCuO是临界温度最高的超导体(Tc为125K),实用价值更大。制备TI系超导体的原料T蚝03是剧毒物质,使用时必须有妥善的防护措施。Tl的蒸气压高,易挥发,这给TIBaCaCuo薄膜的制备带来一定困难,而且很难实现外延生长,只能采用后热处理法制备。为了补充TI的损失,需要将薄膜与TIBaCaCuo粉末或块材放在密闭柑涡中一起热处理。Tl系2223相比较容易形成,这是Tl系薄膜优于Bi系薄膜的地方。 直流溅射后热处理法制备的2223相TIBaCaCuO薄膜的Tg为116K,Ic(77K)为105A/emZ。脉冲激光后热处理法制备的T12BaZCaCu20二薄膜的Tc虽然只有98 .3K,但Jc(77K)却高达l洲106A/emZ,微波表面电阻Rs(77K,9.55GHz)=0.2m见,只是铜(Cu)的1/45。在场强高达12G的强微波场中,它的Rs(%K,9.55GHz)也只有o.6m兑,这对于制作高功率的微波器件是重要的。TIBaCaCuO薄膜微波器件在80K温度下仍然具有良好的性能。TIBaCaCuO薄膜天然晶界SQUID在77K的性能已和4 .ZK商品SQUID性能相近。Tl系薄膜表面质量提高后,TI系薄膜及器件的性能还会有大幅度提高。(李宏成)高温超导薄膜high critieal temperature Super-condueting thin film厚度小于l月m的高温超导材料。
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参考词条