1) laser-induced chemical synthesis
激光气相化学合成
3) laser-driven gas-phase synthesis
激光气相合成
1.
This paper introduces a newly developed technique,which is the combination oflaser-driven gas-phase synthesis of clusters and on-line time-of-flight mass spectrometer.
详细介绍了ＣＯ２激光气相产生围簇及实时检测这一新技术，它是激光气相合成和飞行时间质谱技术相结合的产物。
4) laser gaseous alloying
激光气相合金化
1.
The surface of TiAl alloy is nitrided by CO 2 laser gaseous alloying with nitrogen.
使用激光气相合金化方法，氮气气氛下在铝钛合金表面进行氮化处理。
5) laser induced gas phase reaction
激光诱导气相合成
6) LCVD
激光化学气相沉积
1.
Experimental Research on Photomask Repair System Using Laser Induced Chemical Vapor Deposition(LCVD) Method;
激光化学气相沉积光掩模版修复系统的研究
补充资料：激光化学气相沉积
分子式：
CAS号：
性质： 利用激光束的光子能量激发和促进化学气相反应的沉积薄膜方法。在光子的作用下，气相中的分子发生分解，原子被激活，在衬底上形成薄膜。这种方法与常规的化学气相沉积(CVD)相比，可以大大降低衬底的温度，防止衬底中杂质分布截面受到破坏，可在不能承受高温的衬底上合成薄膜。与等离子体化学气相沉积方法相比，可以避免高能粒子辐照在薄膜中造成损伤。本方法所用设备是在常规的化学气相沉积设备基础上添加激光器、光路系统及激光功率测量装置。用本方法制备的SiO2及Si3N4薄膜时，衬底温度可低至380℃。
CAS号：
性质： 利用激光束的光子能量激发和促进化学气相反应的沉积薄膜方法。在光子的作用下，气相中的分子发生分解，原子被激活，在衬底上形成薄膜。这种方法与常规的化学气相沉积(CVD)相比，可以大大降低衬底的温度，防止衬底中杂质分布截面受到破坏，可在不能承受高温的衬底上合成薄膜。与等离子体化学气相沉积方法相比，可以避免高能粒子辐照在薄膜中造成损伤。本方法所用设备是在常规的化学气相沉积设备基础上添加激光器、光路系统及激光功率测量装置。用本方法制备的SiO2及Si3N4薄膜时，衬底温度可低至380℃。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条