补充资料：R14

国标编号 22033
CAS号 75-73-0
分子式 CF₄
分子量 88.01

无色无臭气体；蒸汽压 13.33kPa(15.07℃)；熔点-183.6℃；沸点-128.0℃；溶解性：不溶于水；密度：相对密度(水=1)1.61(-130℃)；稳定性：稳定；危险标记 5(不燃气体)；主要用途：用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术

2.对环境的影响:
一、健康危害

侵入途径：吸入。
健康危害：能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。

二、毒理学资料及环境行为

毒性：属低毒类。
急性毒性：大鼠吸入90%(充氧)×15分钟，近似致死浓度；大鼠吸入895000ppm×15分钟，最小致死浓度
危险特性：不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
燃烧(分解)产物：氟化氢。

3.现场应急监测方法:
　

4.实验室监测方法:
气相色谱法

5.环境标准:
　

6.应急处理处置方法:
一、泄漏应急处理

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

二、防护措施

呼吸系统防护：一般不需特殊防护。高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩)。
眼睛防护：一般不需特殊防护。
身体防护：穿一般作业工作服。
手防护：戴一般作业防护手套。
其它：避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。

三、急救措施

吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。

灭火方法：本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。