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补充资料：EDS

分子式：
CAS号：

性质：是X射线能谱分析的一种仪器。在电子与物质相互作用时，采用能聚焦的入射电子可以激发初线X射线，不同元素发射出来的特征X射线波长不同，能量也不同。利用X射线能量不同而展谱一般称为X射线能谱分析或能量色散X射线分析，所用设备通常称为能量色散谱仪。主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器，用以将特征X射线按能量展谱。EDS的分辨率远不如波长色散谱仪，它有分析速度快的优点，和通用的X射线波长色谱仪相比可提高10倍，如果进行物相鉴定，只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。

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参考词条

SEM EDS'76 研究 IS研究研究的研究

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