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1)  excimer UV
准分子紫外光源
2)  UV excimer laser
紫外准分子激光
1.
In the paper,the experiment with UV excimer laser etching PI for micropatterns is described in detail.
主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。
3)  exciamer laser UV
准分子紫外激光
4)  DUV excimer laser
深紫外准分子激光
1.
A real-time exposure dose control algorithm for DUV excimer lasers in a step and scan projection lithography is presented.
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。
5)  UV excimer radiation
准分子紫外光辐照
6)  UV excimer light
准分子紫外灯
1.
PBT meltblown nonwovens was irradiated by UV excimer light at wavelength of 222 nm.
用准分子紫外灯辐照(发射光波长222 nm)熔喷PBT非织造布,对辐照前后材料表面结构以及表面润湿性的变化进行了分析。
补充资料:紫外光源
      以产生紫外辐射为主要目的的非照明用电光源。紫外辐射是波长小于紫色光波长的一定范围的电磁辐射,波长为1~380nm,可划分为长波(代号UV-A,波长315~380nm)、中波(UV-B,280~315nm)、短波(UV-C,200~280nm)、真空(UV-D,1~200nm)4个波段,相应的紫外光源分别称之为长波、中波、短波和真空紫外光源。紫外光源具有荧光效应、生物效应、光化学效应和光电效应,适用于工业、农业、国防和医疗等领域。
  
  长波紫外光源  主要有长波紫外线灯、紫外线高压汞灯、紫外线氙灯和紫外线金属卤化物灯。长波紫外光源广泛应用于重氮复印、静电复印、印刷制版,机械工业中的荧光探伤,化学工业中的光合成、光固化、光氧化,农业上的捕鱼诱虫,公安方面的检查、鉴别,以及某些皮肤病的治疗等方面。此外,在装饰照明、广告照明、舞台效果方面,长波紫外光源也日益受到重视。
  
  中波紫外光源  主要指紫外线荧光灯。它具有红斑效应和保健作用,适用于医疗保健。这种灯的玻管用能截止短波紫外线的钠钙玻璃制作,与普通照明荧光灯的区别仅在于辐射波长的范围不同。中波紫外线金属卤化物灯也可用于医疗保健。
  
  短波紫外光源  主要指冷阴极低压汞灯和热阴极低压汞灯。冷阴极低压汞灯结构形式多样,有直管形、U形、盘形等,用于荧光分析、医疗和光化学反应等方面。这种灯紫外辐射强度高,但需用漏磁变压器起动,使用不方便。热阴极低压汞灯即消毒灭菌灯,于1936年问世,是世界上最早使用的紫外光源。它的玻壳由能透过 254nm紫外线的玻璃(石英或高硼玻璃)制成,一般为直管形。热阴极低压汞灯是生产和应用量最大的紫外光源,在各医院得到广泛使用。
  
  真空紫外光源  主要用作光电子能谱仪的激发源、臭氧发生源和真空紫外波长标准。
  
  

参考书目
   石中玉:《紫外线光源及其应用》,轻工业出版社,北京,1984。
   复旦大学电光源实验室编著:《电光源原理》,上海人民出版社,上海,1977。
  

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