1) cathode arc source
阴极电弧源法
1.
Effects of process parameters on synthesis of aluminium nitride thin film with cathode arc source assisted by electrons bath;
工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的影响
2.
The nucleation and growth process of AlN thin film synthesized by activated reactive ion plating with cathode arc source assisted by electrons bath was researched.
研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜的形核生长过程 ,并对生长机理进行了初步的探
3.
A new synthesizing aluminum nitride thin film method,which used activated reactive ion plating with cathode arc source assisted by electrons bath,was introduced.
研究了 N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜质量的影响规律及其原因。
2) cathodic arc source
阴极电弧源
3) cold cathode arc source
冷阴极电弧源
4) cathodic vacuum arc source
阴极真空电弧源
5) cathode arc
阴极电弧
1.
Preparation of Ti-Ni alloy hydrogen storage films by cathode arc method and research on their electrochemical characteristics;
阴极电弧法制备Ti-Ni合金贮氢薄膜及其性能研究
6) arc cathode
电弧阴极
补充资料：低压电弧离子源
分子式：
CAS号：
性质：一种放电型离子源，结构类似于电子电离源，工作气体压力1.0～0.1Pa，电阴极灯丝发射电子束，在阳极引力作用下，以一定的能量与试样气体碰撞，产生低压弧光放电，导致气体电离。低压电弧离子源能产生很强的离子流，常被用在大型电磁分析器上。
CAS号：
性质：一种放电型离子源，结构类似于电子电离源，工作气体压力1.0～0.1Pa，电阴极灯丝发射电子束，在阳极引力作用下，以一定的能量与试样气体碰撞，产生低压弧光放电，导致气体电离。低压电弧离子源能产生很强的离子流，常被用在大型电磁分析器上。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条