1) C 1s Electron
碳1s电子
2) hydrogen 1S orbital
氢原子1S轨道
3) CFE
碳场电子发射体
1.
A smooth high temperature resistant carbon field electron emitter(SCFE) has been proposed for replacing an original high temperature resistant carbon field electron emitter(CFE).
为改进便携式RTX-150Ⅱ型X射线机内真空园锥靶脉冲X射线管的性能,研制成功了一种平滑型耐高温碳场电子发射体SCFE,该SCFE阴极首次装入X射线管即表现出了良好的性能,目前装入整机已1年多,尚未见有发射性能衰变,与该管以前采用的耐高温碳场电子发射体CFE比较,除阴极表面光洁度、体积密实度大大提高,管内零件安装更精密,与管内其他电极的接触更完善等较明显的改善外,阴极总厚度降低至1mm,特别是发射尖端处的厚度减小到了微米量级,电子发射的区域更加集中,初步试用的结果显示,电子发射性能、整管的工作稳定度都确有提高。
4) electronic grade tetrafluoromethane
电子级四氟化碳
补充资料:电子级四氟化碳
分子式: CF4
CAS号:
性质:别名四氟甲烷。无色,不可燃气体,是最稳定的有机化合物之一。与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒的氟化物。液体密度1613kg/m3(-130℃)。沸点-128℃。熔点-184℃。其制法是采用活性炭直接氟化工艺,反应产品经除尘,碱洗,脱水、精馏,可制取纯度为99.99%的四氟化碳。它是微电子工业中用量最大的等离子刻蚀气体。广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀;在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷剂、气体绝缘等方面也大量应用。
CAS号:
性质:别名四氟甲烷。无色,不可燃气体,是最稳定的有机化合物之一。与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒的氟化物。液体密度1613kg/m3(-130℃)。沸点-128℃。熔点-184℃。其制法是采用活性炭直接氟化工艺,反应产品经除尘,碱洗,脱水、精馏,可制取纯度为99.99%的四氟化碳。它是微电子工业中用量最大的等离子刻蚀气体。广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀;在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷剂、气体绝缘等方面也大量应用。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条