补充资料：等离子化学气相沉积

分子式：
CAS号：

性质：PCVD  化学气相沉积(CVD)法是制备无机材料，尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段。用等离子辅助CVD，可在较低的温度下沉积，涂层均匀不剥落。

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