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1)  tungsten gasification
钨气化
2)  gaseous tungsten chloride
气态氯化钨
3)  WCVD
化学气相沉积钨
1.
WCVD can selective deposit on metal and Silicon.
WCVD的填孔能力主要受器件的结构设计(孔的蚀刻轮廓,大小及深宽比),衬底的阻挡层类型以及化学气相沉积钨工艺本身的参数影响。
4)  W/WO 3
钨/氧化钨
5)  CVD-W
化学气相沉积纯钨
1.
The EBSD technology is used to determine the grain orientation microstructure of CVD-W, as well as Hopkinson bar to carry out high strain rate compression tests, in order to investigate the effects of deposition microstructure on the grain boundary and the grain boundary on the plastic deformation.
为研究化学气相沉积纯钨(CVD-W)的沉积组织生长对晶界结构的影响,以及晶界结构对塑性形变的影响;采用电子背散射技术观察CVD-W的微观组织,分析晶界结构;采用Hopkinson压杆系统进行高应变率压缩试验。
6)  tungsten oxide gas detector
氧化钨气体探测器
补充资料:蓝钨氢还原(见仲钨酸铵氢还原)


蓝钨氢还原(见仲钨酸铵氢还原)
hydrogen reduction of blue tung sten compound

Ianwu qing huanyuan蓝钨氮还原(hydrogen reduetion of bluetungsten compound)见仲钨酸按氮还原。
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参考词条