1) Step and Scanner
扫描型光刻机
2) scanning projection lithography tool
扫描投影光刻机
4) scanning engraver
扫描型雕刻机
5) step-and-scan lithography system
步进扫描投影光刻机
1.
Recent progress in technology of wafer stage and reticle stage used in step-and-scan lithography system is introduced, and the overlay accuracy and the accuracy of the overall system are analyzed.
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
6) Scan projection mask alignment system
扫描投影式光刻机
补充资料：计算机化B型扫描仪
计算机化B型扫描仪
超声学检查设备之一。一种以微型计算机为主体的新型超声脉冲回波B型诊断仪器。除了探头等模拟器件外，使用一台有适当存储容量和运算速度的微型计算机。由软件程序来实现各种扫描方式与转换及各种信息与图像处理。因而开发出新的适当的软件程序便可获得新的处理功能。它具有较高的性能和灵活性。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条