利用低压﹑高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕﹐工作压力范围为10-1～10-4帕﹐抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备﹐广泛用于真空冶炼﹑真空镀膜﹑空间仿真试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

简史 1915年﹐德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。1916年﹐美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的所谓冷凝泵。这些泵以汞蒸气为工作介质可获得10-5帕真空。1928年﹐英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物﹐1936年﹐C.D.希克曼等人制成人工合成油。这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低﹐从而取代了汞作为扩散泵的工作液。从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就日渐普遍使用﹐并奠定了高真空技术的基础。60年代开始﹐油扩散泵又有了新的发展。主要的改进是﹕ 泵的材料采用放气量甚小的不锈钢。

采用饱和蒸气压很低﹑热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作为泵的工作液。 改革结构﹐新型油扩散泵在泵口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下﹐在法兰下部突出地扩大泵腔的断面﹐其抽气速率可增大20～40％。如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。泵可有通常泵(指没有扩大泵腔断面的泵)的抽气速率﹐并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。因此﹐油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。

结构和工作原理 油扩散泵主要由泵体﹑扩散喷嘴﹑蒸气导管﹑油锅﹑加热器﹑扩散器﹑冷却系统和喷射喷嘴等部分组成(见图 油扩散泵的结构原理图 )。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时﹐油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流﹐热运动的气体分子扩散到蒸气流中﹐与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量﹐产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级﹐油蒸气被冷凝﹐释出气体分子﹐即被前级泵抽走而达到抽气目的。

泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。但油扩散泵所使用的任何泵油﹐都是蒸气压不同的多组分的混合物。因此﹐要提高油扩散泵的抽气和真空性能﹐泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸气压组分的油不进入高真空工作喷嘴(高真空端的喷嘴)﹔净化目的是使高蒸气压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除﹐使油逐渐趋于纯净。