1) vacuum leak detection
真空检漏
1.
According to the requirement of small satellite vacuum leak detection, a set of vacuum leak detection equipment is developed.
文章介绍了用于小卫星真空检漏而研制的一套真空检漏设备。
2) vacuum leak detector
真空检漏器
3) vacuum degree leak test
真空度检漏
4) Vacuum leak detector
真空检漏仪
5) vacuum leak detection with pressurization
加压真空检漏
1.
And it is pointed out that the method of the vacuum leak detection with pressurization is better for mearsuring the actual leak rate of satellite.
文章介绍了“海洋一号”卫星检漏所采用的两种方法,特别指出采用加压真空检漏方法更能真实地测得卫星的实际漏率,并可提高工作效率。
6) Vacuum leak
真空漏孔
1.
The vacuum leak can be calibrated with the absolute comparison method and the relative comparison method.
比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。
补充资料：真空检漏
真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统、容器或器件达不到预期的真空度，这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小、形状复杂，无法用几何尺寸表示，因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量，其单位为帕·米3/秒（Pa·m3/sec）或托·升／秒（Torr·L/sec）。
1Pa·m3/sec＝7.5（Torr·L/sec）
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借?婵占炻┘际跞范ㄋ堑恼婵掌苄浴⑻讲槁┛椎奈恢茫员悴扇〈胧┙┛追獗沾佣瓜低场⑷萜鳌⑵骷械恼婵兆刺靡晕帧?
漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。
标准漏孔 指在温度为23±7、露点低于-25的干燥空气中，保持漏孔一端压强为100千帕±5％，另一端压强低于1千帕的状态下,经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃－白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。
表内列出常用的真空检漏方法。
氦质谱检漏 最常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。
氦质谱检漏仪的结构如图所示。
氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称最小可检漏率，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。
氦质谱检漏方法 根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可疑部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将可疑部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能精确确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔，可采用累积法，即先用氦室对可疑部分充入氦气，再将检漏仪节流阀关闭，积累一定时间，打开节流阀，观察离子流的变化。这样，检漏灵敏度可提高1～2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法，即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间，利用扩散泵的反流作用，使氦气反流到质谱室而进行检漏。
1Pa·m3/sec＝7.5（Torr·L/sec）
真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借?婵占炻┘际跞范ㄋ堑恼婵掌苄浴⑻讲槁┛椎奈恢茫员悴扇〈胧┙┛追獗沾佣瓜低场⑷萜鳌⑵骷械恼婵兆刺靡晕帧?
漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。
标准漏孔 指在温度为23±7、露点低于-25的干燥空气中，保持漏孔一端压强为100千帕±5％，另一端压强低于1千帕的状态下,经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃－白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。
表内列出常用的真空检漏方法。
氦质谱检漏 最常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。
氦质谱检漏仪的结构如图所示。
氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称最小可检漏率，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。
氦质谱检漏方法 根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可疑部分喷氦气，找出漏孔的位置，但效率较低；氦室法可对大容器检漏，将可疑部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能精确确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔，可采用累积法，即先用氦室对可疑部分充入氦气，再将检漏仪节流阀关闭，积累一定时间，打开节流阀，观察离子流的变化。这样，检漏灵敏度可提高1～2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法，即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间，利用扩散泵的反流作用，使氦气反流到质谱室而进行检漏。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条