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1)  step imprint tool
步进压印机
1.
Thermally induced error during the exposure process is a major contribution to the repeatable alignment accuracy of the step imprint tool in imprint lithography system.
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15 个减少到6 个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型。
2)  step-and-flash lithography
步进-闪光压印法
3)  Step and flash imprint lithography(S-FIL)
步进-闪光压印
4)  step printer
步进式印刷机
5)  pneumatic stepping motor
气压步进电机
6)  hydraulic stepping motor
液压步进电机
补充资料:耐酸陶瓷印板机
分子式:
CAS号:

性质:又称耐酸陶瓷烂板机,由陶瓷缸、叶片、转动主轴及皮带轮等组成。主轴带动叶片作回转运动,将酸液在叶片的切线方向均匀地飞溅成雾状,使铜、锌板表面受到酸液的腐蚀,形成凹凸板面。这种设备用于印刷制板工艺中。

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参考词条