补充资料：光学保护膜

光学保护膜
optical protection coating

光学保护膜叩tieal proteetion eoati飞沉积在金属或其他软性易侵蚀材料或薄膜表面，增加其强度或稳定性，改进其光学性能的一类光学薄膜。 常见的光学保护膜是金属镜面保护膜。金属镜面比较软，且容易受到空气的侵蚀或氧化而降低其反射率。在其表面镀一层电介质膜则可加以保护。常用的保护膜材料有510、5102、AbO3等。为了保证镜面的光学性能，要求电介质膜在使用的波长范围内吸收尽量小。在紫外区，5102、MgFZ、LIF等可作为这一波段的候选材料。 在有些薄膜中不仅要考虑入射介质对薄膜的侵蚀，还要考虑基体材料对薄膜的作用和增加薄膜对基体的附着力，故需在基体和薄膜界面加涂一层底膜或过渡膜。实际上这也是一种保护膜。它除起一般的保护作用外，还要与被保护的材料或薄膜匹配，以改进其光学性能。 光学保护膜已用于光存储技术中。根据不同要求，光学保护膜可增加或减少反射率，以及实现所要求的位相变化或偏振态。保护膜不仅可以隔绝空气和基体材料对存储材料的侵蚀，提高其稳定性、可靠性和寿命，而且通过匹配技术，还可提高其存储性能和载噪比。在实用的光盘体系中，无论是相变盘还是磁光盘，几乎都是由记录介质和匹配介质的多层结构组成。磁光光盘的保护膜可以极大地降低一些稀土元素的氧化效应，防止其性能变差，并通过干涉增强、增大克尔旋转角。相变光盘的保护膜不仅隔绝空气而且增加其稳定性，并可以保证记录介质的组分在相变过程中保持不变，还可通过有效的匹配，提高其记录灵敏度和信号对比度。用作光盘的保护介质要竭力避免介质本身对记录材料的侵蚀，为此常选用氮化物等稳定性较好的薄膜材料。这类材料一般用溅射技术成膜。 除光盘保护膜外，其他如太阳能薄膜、建筑膜、光开关膜等各种功能薄膜，都可通过光学保护膜来增强其性能，保证其稳定性。介质保护膜不仅用于金属或半导体表面，而且用于介质膜本身的保护。激光薄膜的保护膜就是其中的一种，可大大提高激光反射膜和增透膜的激光损伤阑值。(范正修)

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