1) TaN barrier layer
TaN阻挡层薄膜
2) TaN barrier
TaN阻挡层
3) film/TaN films
薄膜/TaN薄膜
4) TaN thin film
TaN薄膜
1.
TaN thin films possess wide resistively, low temperature coefficient of resistance and chemical inert properties, which can be widely used in microwave power resistors.
TaN薄膜具有宽电阻率、低电阻温度系数以及自钝化特性而被广泛应用于微波功率电阻器中。
5) TaN monolithic coating
TaN单层膜
1.
Two kinds of TaN monolithic coatings with TaN and Ta as sputtering targets on monocrystal Si chip were prepared by using FJL560CI2 ultra-high vacuum radio freqency magnetron sputtering chamber.
结果表明,TaN靶材制备的TaN单层膜的纳米硬度值普遍高于Ta靶材的;当工作气压为0。
6) TaN/NbN multilayered coatings
TaN/NbN多层膜
1.
This paper reported the deposition of TaN/NbN multilayered coatings with nanoscale bilayer period using FJL560CI2 ultra-high vacuum radio freqency magnetron sputter chamber.
5 nm时,TaN/NbN多层膜达到最大硬度30 GPa,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量以及膜-基结合性能均达到最佳效果。
补充资料：阻挡层
分子式：
CAS号：
性质：夹在绝热层-衬层/推进剂之间阻挡组分迁移的薄层材料，用以防止由于组分迁移而引起的界面脱黏和性能变化，常用带有活性基团和高交联密度的聚合物，或金属薄膜(如铝箔)作为阻挡层。
CAS号：
性质：夹在绝热层-衬层/推进剂之间阻挡组分迁移的薄层材料，用以防止由于组分迁移而引起的界面脱黏和性能变化，常用带有活性基团和高交联密度的聚合物，或金属薄膜(如铝箔)作为阻挡层。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条