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1)  ultra-precision
超精密
1.
Study on ultra-precision bonnet tool polishing method;
超精密气囊工具抛光方法的研究
2.
Analysis of the positioning accuracy of ultra-precision stage with air-thrust bearings;
超精密气浮平台的定位精度分析
3.
Control Technology of Ultra-precision Planar Motor;
超精密平面电机控制技术
2)  Ultra Precision
超精密
1.
Development of a two-dimensional ultra precision positioning system with nanometer resolution;
具有纳米分辨力二维超精密定位系统的研制
2.
Study on the technology of the ultra precision machining for the large-aperture optical flats;
大口径平面光学元件超精密加工技术的研究
3.
Motion control system of an ultra precision wafer stage with application to integrated circuit production was presented.
描述一种应用于集成电路制造的超精密硅片台系统及其运动控制。
3)  ultraprecision
超精密
1.
The paper analyzes briefly the development state of the diamond ultraprecision turning tool technology.
分析了国内外金刚石超精密切削刀具技术的发展概况,并从金刚石超精密切削刀具的精度控制、金刚石超精密切削刀具的选择以及金刚石超精密切削刀具的制造技术等方面进行了探讨。
2.
The requirement of machining technology of aspheric surface optics parts by NC machine with Nanosys--300 aspheric surface ultraprecisioncompound machining system for single point diamond turning (SPDT) is introduced.
介绍了用金刚石单点车削(SPDT)的方法在"Nanosys--300非球面曲面超精密复合加工系统"数控机 床上加工非球面曲面类光学零件时对加工工艺的要求。
3.
In ultraprecision machining, multi probe methods are widely used for measuring the straightness error of the workpiece to separate the straightness motion error of the carriage.
超精密加工中 ,用多测头方法测量工件直线度时 ,需要采用误差分离的方法分离出溜板的运动误差 ,并用一定的算法重构工件表面的直线度 。
4)  ultraprecison grinding
超精密磨
5)  ultra-precise ball
超精密球
6)  super precise distillation
超精密精馏
1.
Production of 1-butene with catalytic distillation and super precise distillation and its improvement;
用混相催化精馏和超精密精馏技术生产1-丁烯及其改进
补充资料:超精密加工
超精密加工
ultraprecision machining 
    20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代,加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米),表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求,需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。超精密加工包括:①超精密切削加工。如超精密车削、镜面磨削、研磨等,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。②超精密特种加工。如机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀、分子束外延等,其原理是应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的结合能,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形等,以达到超精密加工的目的。
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参考词条